[发明专利]一种检测炉管真空泵漏率方法有效
| 申请号： | 202110414850.6 | 申请日： | 2021-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN113280986B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 杨飞飞;张波;赵科巍;刘东林;申开愉;梁玲;李雪方;张云鹏;郭丽;吕爱武;杜泽霖;李陈阳 | 申请（专利权）人： | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 炉管 真空泵 方法 | ||
1.一种检测炉管真空泵漏率方法，其特征在于：安如下步骤进行
步骤一、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr，如果不能，说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S；
步骤二、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，以γ为横坐标，S为纵坐标，建立直接坐标系，拟合得到斜率为β的一条直线；
步骤三、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0，待测真空泵漏率Q漏=Pstp*(β/γ0)，其中，Pstp为炉管内外压力差，Pstp取大气压，如果Q漏大于等于800PaL/S，则得到待测真空泵漏率Q漏即为待测真空泵的真实漏率，否则进行步骤四；
步骤四、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力低于50mTorr时，关闭真空泵，给炉管通气，通气流量逐渐增加，最大达到500sccm，通气流量每增加50sccm，记录一次炉管通气流量，同时计算出炉管压力增加速率ωΔP，以为炉管压力增加速率ωΔP横坐标，炉管通气流量为纵坐标，建立直接坐标系拟合得到斜率为α的一条直线；
步骤五、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力低于50mTorr时，关闭真空泵，记录每分钟炉管压力增加值，取平均值计为平均炉管压力增加速率ωΔP均，待测真空泵真实漏率Q漏修=Pstp*(ωΔP均/α)，Pstp为炉管内外压力差，Pstp取大气压，Q漏修小于800PaL/S。
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