[发明专利]一种检测炉管真空泵漏率方法

说明书

本发明属于光伏晶硅电池领域。一种检测炉管真空泵漏率方法，对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，拟合得到斜率为β的一条直线；将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ₀，待测真空泵漏率Q_漏=P_stp*(β/γ₀)，如果Q_漏大于等于800PaL/S，则得到待测真空泵漏率Q_漏即为待测真空泵的真实漏率。

技术领域

本发明涉及太阳能电池生产领域。

背景技术

工业化光伏电池生产过程中，设备的完好性可保证工艺的稳定，而镀膜工艺设备真空泵的漏率问题，直接关系镀膜质量的好坏，由于专业侧漏设备价格高昂，且操作复杂，不利于在生产过程中的应用。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：如何提供一种可快速检测炉管真空泵漏率方法。

本发明所采用的技术方案是：一种检测炉管真空泵漏率方法，按如下步骤进行

步骤一、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，检测炉管内部压力是否可以低于50mTorr，如果不能，说明真空泵漏率大于等于2000PaL/S；

步骤二、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，以γ为横坐标，S为纵坐标，建立直接坐标系，拟合得到斜率为β的一条直线；

步骤三、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ₀，待测真空泵漏率Q_漏=P_stp*(β/γ₀)，其中，P_stp为炉管内外压力差，P_stp取大气压，如果Q_漏大于等于800PaL/S，则得到待测真空泵漏率Q_漏即为待测真空泵的真实漏率，否则进行步骤四；

步骤四、对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力低于50mTorr时，关闭真空泵，给炉管通气，通气流量逐渐增加，最大达到500sccm，通气流量每增加50sccm，记录一次炉管通气流量，同时计算出炉管压力增加速率ω_ΔP，以为炉管压力增加速率ω_ΔP横坐标，炉管通气流量为纵坐标，建立直接坐标系拟合得到斜率为α的一条直线；

步骤五、将待测真空泵安装在炉管上，启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力低于50mTorr时，关闭真空泵，记录每分钟炉管压力增加值，取平均值计为平均炉管压力增加速率ω_ΔP均，待测真空泵真实漏率Q_漏修=P_stp*(ω_ΔP均/α)，P_stp为炉管内外压力差，P_stp取大气压，Q_漏修小于800PaL/S。

本发明的有益效果是：本发明专利提出了一种检测炉管真空泵漏率方法，可针对不同漏率使用，成本低且操作简单，有利于工业化生产中的推广应用。

具体实施方式

一种检测炉管真空泵漏率方法，安如下步骤进行