[发明专利]一种高纯度碲化砷的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110417021.3 申请日: 2021-04-16
公开(公告)号: CN113233430B 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 文崇斌;余芳;朱刘;童培云;曾成亮 申请(专利权)人: 先导薄膜材料(广东)有限公司
主分类号: C01B19/04 分类号: C01B19/04
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;黄诗彬
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 纯度 碲化砷 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种高纯度碲化砷的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

装料准备:在反应炉中的反应容器中装入原料碲和原料砷;抽真空,使得所述反应炉中的气压降至5×10-4Pa以下,随后向所述反应炉中通入惰性气体至达到第一气压,所述原料碲为固态碲块,所述原料砷为固态砷块,所述固态碲块放置于所述固态砷块的下方;

一次反应:维持所述第一气压,控制所述反应炉中的温度以5℃/min至10℃/min的速度升高至500℃至550℃,并封闭所述反应容器,保温保压30mins至60mins;

二次反应:在所述一次反应步骤结束后,向所述反应炉中继续通入惰性气体,使气压升高至第二气压,所述反应炉中的气压高于所述反应容器中的气压;控制所述反应炉中的温度以15℃/min至20℃/min的速度升高至850℃至900℃,保温保压90mins至120mins,随后可得碲化砷成品;

所述反应容器采用液封的密封方式;

采用固态氧化硼作为液封剂,所述固态氧化硼在所述一次反应步骤中熔化为液态,从而形成液封效果;

所述第一气压为1Mpa至2Mpa,所述第二气压为4Mpa至5Mpa;

当所述装料准备步骤之后还包括旋转所述反应容器的步骤,所述旋转所述反应容器的步骤持续至所述二次反应步骤结束。

2.如权利要求1所述的高纯度碲化砷的制备方法,其特征在于,所述反应容器为石墨坩埚,所述石墨坩埚包括筒体、液封槽和盖体,所述筒体的底部密封而上端开口,用于容置所述原料碲和所述原料砷;所述液封槽向上开口并环设于所述筒体的外周壁上;所述盖体开口向下匹配盖合入所述液封槽中。

3.如权利要求2所述的高纯度碲化砷的制备方法,其特征在于,在所述装料准备步骤中,封闭所述反应容器包括以下步骤:

盖体开口向下盖合入所述液封槽中,再向所述液封槽中加入液封剂,从而形成液封效果。

4.如权利要求1至3任一项所述的高纯度碲化砷的制备方法,其特征在于,所述原料碲与原料砷的物质的量的比值为2:3。

5.如权利要求1至3任一项所述的高纯度碲化砷的制备方法,其特征在于,所述二次反应步骤之后还包括降温出炉步骤,所述降温出炉步骤包括:

当所述二次反应步骤结束之后,随炉冷却,当所述反应炉内的温度降至350℃以下时,控制所述反应炉中的气压至常压,随后使得反应炉内的温度降至室温;最后解除密封,取出反应容器中的成品碲化砷。

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