[发明专利]一种基于浮法联线系统

权利要求书

1.一种基于浮法联线系统，位于漂浮在锡槽内的基体上方，包括气体运输模块、气体反应模块、废气排出模块，所述气体运输模块按照气体的移动方向依次包括通气设备、纯化器、流量调节装置、蒸发升华器、混合炉，所述气体反应模块按照气体的移动方向依次包括反应炉、真空泵，所述废气排出模块包括废气处理器，其特征在于，所述基体的移动速度为390~420m/h，所述流量调节装置中将通气设备中导入的气体流量为300~400m³/h。

2.根据权利要求1所述的一种基于浮法联线系统，其特征在于，包括镀膜端和基体端；其中镀膜端的工作方法包括以下步骤：

S1气体运输；通气设备将反应气体经过纯化器纯化再蒸发升华进入混合炉中混合；

S2气体反应；将混合气体通过反应炉，导出到基体顶部，混合气体在基体表面发生化学反应，形成固体薄膜和反应生成气体；

S3流量调节；控制气体初步流量为300m³/h，再逐步调到流量为420m³/h；

S4废气导出；将反应生成气体和未反应气体导出处理。

3.根据权利要求1所述的一种基于浮法联线系统，其特征在于，在S3流量调节的步骤中，调节速度为30m³/h。

4.根据权利要求1所述的一种基于浮法联线系统，其特征在于，镀膜端设置在基体端的上方，且镀膜端包括沉积区，沉积区的温度为600℃~780℃，基体的上料口温度为1350℃~1400℃，锡槽的出口端温度为20℃。

5.根据权利要求1所述的一种基于浮法联线系统，其特征在于，锡槽内部压力为200kPa。

6.根据权利要求1所述的一种基于浮法联线系统，其特征在于，导入的气体为SiH₄和CH₄。

7.根据权利要求1所述的一种基于浮法联线系统，其特征在于，在退火窑中，氧气体积为总气体的25％～50％。