[发明专利]极紫外光刻机物料传递及污染控制系统、方法有效
申请号: | 202110426520.9 | 申请日: | 2021-04-20 |
公开(公告)号: | CN113311890B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 王魁波;吴晓斌;罗艳;谢婉露;韩晓泉;沙鹏飞;李慧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G05D27/02 | 分类号: | G05D27/02;G03F7/20 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 王志红 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 紫外 光刻 物料 传递 污染 控制系统 方法 | ||
1.一种极紫外光刻机物料传递及污染控制系统,包括:物料盒,所述物料盒内设置有多个物料;大气腔,所述大气腔内设置有第一传输单元;载片腔,所述载片腔内设置有物料支架,所述第一传输单元的传输路径为所述物料盒至所述物料支架;传输腔,所述传输腔内设置有第二传输单元;工艺腔,所述工艺腔内设置有物料台,所述第二传输单元的传输路径为所述物料支架至所述物料台;真空泵组,所述真空泵组通过真空管道与所述载片腔、所述传输腔和所述工艺腔连通;其特征在于,
所述大气腔通过第一通气管通入气体,所述第一通气管上设置有第一调节阀;
所述载片腔与所述大气腔通过大气物料阀连通,所述载片腔通过第二通气管通入气体,所述第二通气管上设置有第二调节阀;
所述传输腔与所述载片腔通过第一真空物料阀连通,所述传输腔通过第三通气管通入气体,所述第三通气管上设置有第三调节阀;
所述工艺腔与所述传输腔通过第二真空物料阀连通,所述工艺腔通过第四通气管通入气体,所述第四通气管上设置有第四调节阀;
所述极紫外光刻机物料传递及污染控制系统还包括控制器,所述控制器能够控制所述真空泵组、大气物料阀、第一真空物料阀和第二真空物料阀开启或关闭,同时控制所述第一调节阀、第二调节阀、第三调节阀和第四调节阀的开度使工艺腔内气体进入传输腔内、传输腔内气体进入载片腔内、载片腔内气体进入大气腔内、大气腔内气体进入洁净间内,使大气腔、载片腔、传输腔和工艺腔内的污染性气体分压依次减小。
2.根据权利要求1所述的极紫外光刻机物料传递及污染控制系统,其特征在于,所述第一传输单元为大气机械臂,所述载片腔与所述大气腔连通时,所述大气机械臂能够将所述物料盒内的物料传递至所述物料支架上。
3.根据权利要求1所述的极紫外光刻机物料传递及污染控制系统,其特征在于,所述第二传输单元为真空机械臂,所述工艺腔与所述传输腔连通时,所述真空机械臂能够将物料从所述物料支架传递至所述物料台上。
4.根据权利要求1所述的极紫外光刻机物料传递及污染控制系统,其特征在于,所述真空管道上设置有真空可调阀,所述控制器根据开关信号控制所述真空可调阀的开度。
5.根据权利要求1所述的极紫外光刻机物料传递及污染控制系统,其特征在于,所述极紫外光刻机物料传递及污染控制系统还包括恒温系统,所述恒温系统包括恒温水源箱和冷却器,所述冷却器设置于所述物料支架上,所述恒温水源箱能够与所述冷却器连通。
6.根据权利要求1所述的极紫外光刻机物料传递及污染控制系统,其特征在于,所述极紫外光刻机物料传递及污染控制系统还包括高纯气源箱和高纯工艺气源箱,所述高纯气源箱分别与所述第一通气管和所述第二通气管连通,所述高纯工艺气源箱分别与所述第三通气管和所述第四通气管连通。
7.根据权利要求6所述的极紫外光刻机物料传递及污染控制系统,其特征在于,所述极紫外光刻机物料传递及污染控制系统还包括第一过滤器和第二过滤器,所述第一过滤器设置于所述高纯气源箱的出气端,所述第二过滤器设置于所述高纯工艺气源箱的出气端。
8.根据权利要求1所述的极紫外光刻机物料传递及污染控制系统,其特征在于,所述极紫外光刻机物料传递及污染控制系统还包括光学系统和质谱计,所述光学系统处理后的工艺光束能够对所述物料台上的所述物料进行照射,所述大气腔、所述载片腔、所述传输腔和所述工艺腔内均设置有所述质谱计。
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