[发明专利]一种检测TFT清洗线MURA的方法在审
| 申请号： | 202110430833.1 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113281923A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 曾纯;徐阳;李伟界 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 唐超 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 tft 清洗 mura 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种检测TFT清洗线MURA的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、使用水蒸气喷头向完成清洗流程的玻璃基板表面喷水蒸气，所述水蒸气喷头所喷出的水蒸气覆盖所述玻璃基板的表面；
S2、使用能发出绿色光的钠灯作为唯一光源，使用所述钠灯照射所述玻璃基板的表面，检查所述玻璃基板的表面是否存在光散射部分。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述清洗流程包括使用水溶液对所述玻璃基板进行清洗，和对所述玻璃基板上残留的所述水溶液进行清除和干燥。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤S1中，在发出绿色光的所述钠灯作为唯一光源的环境中，使用所述水蒸气喷头向所述玻璃基板的表面喷水蒸气。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤S1和所述步骤S2之间的间隔时间不能超过30s。
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