[发明专利]一种压电振动装置在审
| 申请号： | 202110433210.X | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113140667A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 邱䶮;秦小勇 | 申请（专利权）人： | 广东奥迪威传感科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/09 |
| 代理公司： | 广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙) 44401 | 代理人： | 彭志坚 |
| 地址： | 511400 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 振动 装置 | ||
1.一种压电振动装置，其特征在于，包括：
陶瓷层，所述陶瓷层设有相对的第一表面和第二表面；
所述第一表面设有第一电极层；
所述第二表面分别设有所述第一电极层、第二电极层以及将所述第一电极层和第二电极层间隔开的绝缘层；
所述第一表面的所述第一电极层通过所述陶瓷层的侧面连接至所述第二表面；
所述第一电极层与所述第二电极层结构相同，设有与所述陶瓷层粘连的活泼金属层，与所述活泼金属层粘连的阻焊层，与所述阻焊层粘连的贵金属层，所述陶瓷层、所述活泼金属层、所述阻焊层、所述贵金属层依次层叠设置。
2.如权利要求1所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述活泼金属层覆盖所述第一表面，所述活泼金属层采用Cr或Ti或V或Ni或合金类的活性较高的金属。
3.如权利要求1所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述阻焊层覆盖所述活泼金属层，所述阻焊层采用Ni或Cu稳定性好的金属。
4.如权利要求1所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述贵金属层覆盖所述阻焊层，所述贵金属层采用Cu或Ag或Au或Pt或Sn焊接性能优良的金属。
5.如权利要求4所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述贵金属层的附着力大于10Mpa，便于实现表面贴装。
6.如权利要求1所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述绝缘层的宽度小于等于0.02mm。
7.如权利要求1所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述活泼金属层的总厚度为25nm～70nm。
8.如权利要求1所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述阻焊层的总厚度为650nm～3000nm。
9.如权利要求1所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述贵金属层的总厚度为100nm～250nm。
10.如权利要求1所述的一种压电振动装置，其特征在于：所述第一电极层的面积小于所述第二表面的面积的1/20。
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