[发明专利]匹配器输出功率调试方法及调试系统

权利要求书

1.一种匹配器输出功率调试方法，所述匹配器的输入端与所述射频电源的输出端电性连接，所述匹配器的输出端与工艺腔室的射频功率接收端电性连接，其特征在于，包括：

在射频电源开启时，检测所述匹配器的输入端的输入功率值和所述匹配器的输出端的输出功率值；

计算所述匹配器的实际效率值，所述实际效率值等于所述匹配器的输出功率值与输入功率值的比值；

判断所述实际效率值是否在预设效率范围内，若否，则计算效率补偿值，所述效率补偿值等于预设效率值与所述实际效率值的比值，并根据所述效率补偿值调节所述匹配器的输入功率。

2.根据权利要求1所述的匹配器输出功率调试方法，其特征在于，所述根据所述效率补偿值调节所述匹配器的输入功率，具体包括：

计算目标输入功率值，所述目标输入功率值等于所述效率补偿值与所述匹配器的输入功率值的乘积；

将所述射频电源的输出功率调节至所述目标输入功率值。

3.根据权利要求1所述的匹配器输出功率调试方法，其特征在于，在判断所述实际效率值是否在预设效率范围内之后，还包括：

判断调节次数是否超过预设最大调节次数，若是，则发出表示校准所述匹配器的提示信息；

若否，则将所述调节次数加1。

4.根据权利要求3所述的匹配器输出功率调试方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在射频电源开启时将所述调试次数的初始值设定为0。

5.根据权利要求1所述的匹配器输出功率调试方法，其特征在于，在所述检测所述匹配器的输入端的输入功率值和所述匹配器的输出端的输出功率值的步骤之后，且在所述计算所述匹配器的实际效率值的步骤之前，还包括：

判断所述匹配器的输入功率值是否在预设功率范围内，若是，则进行所述计算所述匹配器的实际效率值的步骤；若否，则发出表示校准所述射频电源的输出功率的提示信息。

6.一种调试系统，用于调试匹配器的输出功率，其特征在于，包括：功率检测单元和控制单元，其中，

所述功率检测单元用于在射频电源开启时检测所述匹配器的输入端的输入功率值和所述匹配器的输出端的输出功率值，并将所述匹配器的输入功率值和所述匹配器的输出功率值发送至所述控制单元；

所述控制单元用于计算所述匹配器的实际效率值，所述匹配器的实际效率值等于所述匹配器的输入功率值与输出功率值的比值；

所述控制单元还用于判断所述实际效率值是否在预设效率范围内，若否，则计算效率补偿值，所述效率补偿值等于预设效率值与所述实际效率值的比值，并根据所述效率补偿值，控制所述射频电源调节所述匹配器的输入功率。

7.根据权利要求6所述的调试系统，其特征在于，所述控制单元还用于计算目标输入功率值，所述目标输入功率值等于所述效率补偿值与所述匹配器的输入功率值的乘积；

所述控制单元还用于控制所述射频电源将所述匹配器的输入功率调节至所述目标输入功率值。

8.根据权利要求6所述的调试系统，其特征在于，所述功率检测单元包括输入功率检测器和输出功率检测器，其中，所述输入功率检测器用于检测所述匹配器的输入端的输入功率，所述输出功率检测器用于检测所述匹配器的输出端的输出功率。

9.根据权利要求6所述的调试系统，其特征在于，所述控制单元还用于判断调节次数是否超过预设最大调试次数，若是，则停止调试并发出表示校准所述匹配器的提示信息；若否，则将所述调节次数加1。

10.根据权利要求6所述的调试系统，其特征在于，所述控制单元还用于判断所述匹配器的输入功率值是否在预设功率范围内，若是，则计算所述匹配器的实际效率值；若否，则发出表示校准所述射频电源的输出功率的提示信息。