[发明专利]一种粘附性好的晶圆切割用保护膜及其制备方法

权利要求书

1.一种粘附性好的晶圆切割用保护膜，其特征在于，从上到下依次包括基材层，粘合层，剥离层；

所述的基材层为PVC基材；

所述的粘合层制备原料包括：树脂，增塑剂，耐高温助剂，引发剂；

所述的树脂为改性聚丙烯酸树脂；

所述的改性聚丙烯酸树脂为二氧化钛改性聚丙烯酸树脂，所述二氧化钛为粒径为15nm和25nm二氧化钛，重量比为1：（2-3）；

所述的二氧化钛改性聚丙烯酸树脂的改性剂为硅烷偶联剂，所述的硅烷偶联剂为γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和N-（β-氨乙基）-γ-氨丙基三甲（乙）氧基硅烷，重量比为5：（0.5-1.3）；

所述的增塑剂和耐高温助剂的重量百分比为3：（4-4.7）；

所述的耐高温助剂为四[β-（3,5-二叔丁基-4-羟基苯基）丙酸]季戊四醇酯；

所述的耐高温助剂四[β-（3,5-二叔丁基-4-羟基苯基）丙酸]季戊四醇酯用量与硅烷偶联剂用量的重量比为（0.1-0.5）：1。

2.一种根据权利要求1所述的粘附性好的晶圆切割用保护膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将树脂，增塑剂，耐高温助剂加入到反应器中，升温至80-90℃，搅拌混合0.5-1.5h；

（2）加入引发剂，搅拌混合，即得粘合层初产物；

（3）将基材层置于最底层，涂布粘合层初产物，涂布温度为60-100℃，送入烘箱中烘烤5-10min，覆盖上剥离层，熟化，出卷。