[发明专利]一种修复高纯铝靶材表面缺陷的加工方法在审
| 申请号： | 202110437990.5 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113084235A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;沈文华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/00 | 分类号： | B23C3/00;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 修复 高纯 铝靶材 表面 缺陷 加工 方法 | ||
1.一种修复高纯铝靶材表面缺陷的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：
对高纯铝靶材表面依次进行粗加工以及精加工；所述精加工采用的刀具为金刚石刀片；所述精加工的次数为1～3次。
2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述高纯铝的纯度不小于5N。
3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述粗加工和精加工均采用铣床进行。
4.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，所述粗加工和精加工的过程中均采用切削液；
优选地，所述切削液包括酒精。
5.根据权利要求1-4任一项所述的加工方法，其特征在于，所述粗加工采用的刀具为硬质合金刀具。
6.根据权利要求1-5任一项所述的加工方法，其特征在于，所述粗加工的刀具转速为600～1000r/min，优选为700～900r/min。
7.根据权利要求1-6任一项所述的加工方法，其特征在于，粗加工的刀具进给量为200～300mm/min，优选为230～270mm/min。
8.根据权利要求1-7任一项所述的加工方法，其特征在于，所述精加工的次数为1次。
9.根据权利要求1-8任一项所述的加工方法，其特征在于，所述精加工的刀具转速为600～1000r/min，优选为750～850r/min；
优选地，所述精加工的刀具进给量为80～120mm/min，优选为90～100mm/min。
10.根据权利要求1-9任一项所述的加工方法，其特征在于，所述精加工的精铣余量为0.02～0.04mm。
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