[发明专利]包括凸起和凸起之间的凹部中的填料颗粒的中间层在审
申请号: | 202110441535.2 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113555325A | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | S·施瓦布;E·里德尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/29 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 周家新 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 凸起 之间 中的 填料 颗粒 中间层 | ||
1.一种结构(150),所述结构(150)包括:
·第一子结构(152);和
·第二子结构(154),其与第一子结构(152)耦合,并且是在基质(158)中包含填料颗粒(156)的复合材料;
·其中,第一子结构(152)的表面具有包含第一凸起(160)和第一凹部(162)的表面轮廓,第一凹部(162)被配置成使至少一部分填料颗粒(156)能够至少部分地进入第一凹部(162),从而形成中间层(164),所述中间层(164)包括第一子结构(152)的第一凸起(160)和第二子结构(154)的基质(158)中的填料颗粒(156);
·其中,第一子结构(152)的表面具有形成在第一凸起(160)和第一凹部(162)上的第二凸起(168)和第二凹部(170);
·其中,第二凹部(170)的尺寸被确定为使得基质(158)的至少一部分能够至少部分地进入第二凹部(170),并且尺寸被确定为使填料颗粒(156)不能进入第二凹部(170)。
2.根据权利要求1所述的结构(150),其中,所述第一凸起(160)和所述第一凹部(162)的深度(Rz)在0.1μm至50μm的范围内、特别是在0.1μm至10μm的范围内、更特别地在0.6μm至5μm的范围内。
3.根据权利要求1或2所述的结构(150),其中,所述填料颗粒(156)的至少一部分具有在10nm至10μm的范围内、特别是在20nm至2μm的范围内、更特别地在50nm至1μm的范围内的直径(D)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的结构(150),其中,所述第一凸起(160)的深度(Rz)与相邻的第一凸起(160)的顶峰(166)之间的距离(L)之间的比率至少为0.2、特别是在0.2至5的范围内。
5.根据权利要求1所述的结构(150),其中,所述第二凸起(168)和所述第二凹部(170)具有在1nm至100nm的范围内、特别是在10nm至50nm的范围内、更特别地在10nm至30nm的范围内的深度(B)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的结构(150),其中,所述第一子结构(152)包括基体(176),第一凸起(160)形成在所述基体(176)上。
7.根据权利要求6所述的结构(150),其中,所述结构(150)包括以下特征中的至少一个:
基体(176)和第一凸起(160)由相同的材料制成;
基体(176)和第一凸起(160)由不同的材料制成;
基体(176)和第一凸起(160)彼此直接物理接触;
包括在基体(176)和第一凸起(160)之间的中间层(178),特别是种子层;
其中,在基体(176)与第一凸起(160)之间形成至少一个底切部(151),其中,特别地,所述至少一个底切部(151)被形成用于提升机械互锁并由此提升中间层(164)内的粘附,和/或其中,所述至少一个底切部(151)对应于侧角小于90°的孔几何特征。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的结构(150),其中,所述填料颗粒(156)具有热膨胀系数的值,所述热膨胀系数的值被选择成使得所述填料颗粒(156)在所述中间层(164)中的存在减少了第一子结构(152)和第二子结构(154)之间的热膨胀系数之间的失配。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的结构(150),其中,所述第二凸起(168)和所述第二凹部(170)被配置为粘附促进物、特别是形态学粘附促进物、更特别地是多孔粘附促进物。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的结构(150),其中,所述第一凸起(160)和所述第二凸起(168)中的至少一个以随机的方式布置在连续的表面区域之上。
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