[发明专利]影像感测器在审
申请号: | 202110441545.6 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN114823748A | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 张原硕;吴庆强 | 申请(专利权)人: | 采钰科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 影像 感测器 | ||
本发明实施例提供一种影像感测器,影像感测器包括基板、第一光电二极管、第二光电二极管、中间层、导光结构及微透镜层。第一光电二极管与第二光电二极管交替设置于基板中。每个第一光电二极管于上视图中的面积小于每个第二光电二极管的面积。中间层设置于基板上。导光结构设置于中间层中且设置于第一光电二极管或第二光电二极管至少其中一者之上。导光结构的折射率大于中间层的折射率。微透镜层设置于中间层上。
技术领域
本发明实施例涉及一种影像感测器,特别是涉及一种具有导光结构的影像感测器。
背景技术
如互补式金属氧化物半导体影像感测器(complementary metal oxidesemiconductor image sensor,CIS)的影像感测器广泛用于各种影像撷取装置,例如数码静态影像相机(digital still-image camera)与数码视频相机等。影像感测器的感光部分可检测到周围的颜色变化,且取决于感光部分所接收到的光线量可产生信号电荷。此外,可传输并放大感光部分中所产生的信号电荷以获得影像信号。
影像感测器应能够快速撷取影像,且准确度、空间解析度与动态范围应尽可能越高越好。然而,传统影像感测器由于受限的动态范围而面临缺失场景细节或模糊现象或严重失真的问题。因此,仍需要一种能够达到高动态范围(high dynamic range,HDR)成像的影像感测器。
发明内容
根据本发明的一些实施例,提供一种影像感测器。影像感测器包括基板、第一光电二极管、第二光电二极管、中间层、导光结构及微透镜层。第一光电二极管与第二光电二极管交替设置于基板中。每个第一光电二极管于上视图中的面积小于每个第二光电二极管的面积。中间层设置于基板上。导光结构设置于中间层中且设置于第一光电二极管或第二光电二极管至少其中一者之上。导光结构的折射率大于中间层的折射率。微透镜层设置于中间层上。
根据本发明一些其他的实施例,亦提供另一种影像感测器。影像感测器包括基板、第一光电二极管、第二光电二极管、中间层、导光结构、彩色滤层阵列及微透镜层。第一光电二极管与第二光电二极管交替设置于基板中。每个第一光电二极管于上视图中的面积小于每个第二光电二极管的面积。中间层设置于基板上。导光结构设置于中间层中且设置于第一光电二极管或第二光电二极管至少其中一者之上。彩色滤层阵列具有多个彩色滤层且设置于中间层上。微透镜层设置于彩色滤层阵列上,且包括多个微透镜。彩色滤层各与两邻近的微透镜重叠。
以下实施例中参照所附图式提供详细叙述。
附图说明
搭配所附图式阅读后续的详细叙述与范例将能更全面地理解本发明实施例,其中:
图1A至图1F是根据本发明的各种实施例的影像感测器剖面图。
图2A是根据本发明的一些实施例的影像感测器上视图。
图2B是根据本发明的一些实施例的影像感测器放大上视图。
其中,附图标记说明如下:
10,20,30,40,50,60:影像感测器
100:基板
102A:第一光电二极管
102B:第二光电二极管
104:中间层
106A,106B:导光结构
108:微透镜层
108M:微透镜
110:彩色滤层阵列
110A,110B,110C:彩色滤层
112:钝化层
114:线路层
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的