[发明专利]一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构

权利要求书

1.一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：包括小同步齿轮(1)、大同步齿轮(2)、伺服电机轴伸端(3)、第一齿形皮带(4)、第一锥齿轮同步齿轮(5)、第一直齿锥齿轮主动轮(6)、第一直齿锥齿轮从动轮(7)、第二齿形皮带(8)、第二锥齿轮同步齿轮(9)、第二直齿锥齿轮主动轮(10)、第二直齿锥齿轮从动轮(11)，所述小同步齿轮(1)、大同步齿轮(2)与伺服电机轴伸端(3)同轴固定连接，所述小同步齿轮(1)通过第一齿形皮带(4)与第一锥齿轮同步齿轮(5)啮合，所述第一锥齿轮同步齿轮(5)与第一直齿锥齿轮主动轮(6)同轴固定连接，所述第一直齿锥齿轮主动轮(6)与第一直齿锥齿轮从动轮(7)啮合，所述大同步齿轮(2)通过第二齿形皮带(8)与第二锥齿轮同步齿轮(9)连接，所述第二锥齿轮同步齿轮(9)与第二直齿锥齿轮主动轮(10)同轴固定连接，所述第二直齿锥齿轮主动轮(10)与第二直齿锥齿轮从动轮(11)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：所述第一直齿锥齿轮主动轮(6)通过第一法兰盘(12)安装在第一直角铝制结构板(14)上，所述第一直齿锥齿轮从动轮(7)通过第二法兰盘(13)安装在第一直角铝制结构板(14)上。

3.根据权利要求2所述的一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：所述第二直齿锥齿轮主动轮(10)通过第三法兰盘(15)安装在第二直角铝制结构板(17)上，所述第二直齿锥齿轮从动轮(11)通过第四法兰盘(16)安装在第二直角铝制结构板(17)上。

4.根据权利要求1所述的一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：所述小同步齿轮(1)与大同步齿轮(2)外径比为3:5。

5.根据权利要求1所述的一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：所述第一直齿锥齿轮主动轮(6)与第一直齿锥齿轮从动轮(7)的交角为90度，所述第二直齿锥齿轮主动轮(10)与第二直齿锥齿轮从动轮(11)的交角为90度。

6.根据权利要求1所述的一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：所述第一直齿锥齿轮从动轮(7)、第二直齿锥齿轮从动轮(11)的中心均采用中空结构。

7.根据权利要求6所述的一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：所述第一直齿锥齿轮从动轮(7)、第二直齿锥齿轮从动轮(11)的中空结构内分别设置有相位补偿器。

8.根据权利要求1所述的一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：所述伺服电机轴伸端(3)的一端与小同步齿轮(1)、大同步齿轮(2)通过键槽固定，所述伺服电机轴伸端(3)的另一端连接伺服电机，所述伺服电机内设置有用于测量伺服电机转速位移的编码器。

9.根据权利要求3所述的一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，其特征在于：所述第一直角铝制结构板(14)、第二直角铝制结构板(17)内均集成安装有两个高精度轴承，所述第一直角铝制结构板(14)的两个高精度轴承分别与第一直齿锥齿轮主动轮(6)、第一直齿锥齿轮从动轮(7)连接，所述第二直角铝制结构板(17)的两个高精度轴承分别与第二直齿锥齿轮主动轮(10)、第二直齿锥齿轮从动轮(11)连接。