[发明专利]一种磁极回转的圆形平面磁控溅射靶有效
| 申请号： | 202110450572.X | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113174576B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 朱国;刘文玉 | 申请（专利权）人： | 湖南城市学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 长沙惟盛赟鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 43228 | 代理人： | 滕澧阳 |
| 地址： | 413049 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁极 回转 圆形 平面 磁控溅射 | ||
1.一种磁极回转的圆形平面磁控溅射靶的使用方法，其特征在于，磁极回转的圆形平面磁控溅射靶包括：
靶基座(1)，其为中空的圆柱形结构；
磁极回转系统(4)，其设置靶基座(1)上，并与靶基座(1)可活动的连接；所述磁极回转系统(4)为可旋转的结构；
磁极(3)，其设置在磁极回转系统(4)上，并被磁极回转系统(4)带动旋转；
所述磁极回转系统(4)包括：
导磁座(41)，所述导磁座(41)上设置有磁极(3)；
传动结构(42)，其一端与导磁座(41)固定连接；
电机(43)，其与传动结构(42)远离导磁座(41)的另一端连接，并通过驱动传动结构(42)旋转导磁座(41)；
所述磁极回转系统(4)通过轴承(5)与靶基座(1)内壁活动连接；
所述传动结构(42)包括：
传动轴(421)，其一端与导磁座(41)固定连接；
锥齿轮(422)，其包括相互啮合的主动轮与从动轮，所述从动轮套设于传动轴(421)远离导磁座(41)的一端，所述主动轮套设于电机(43)的转轴上；
还包括：
绝缘板(9),其为圆环形结构，所述绝缘板(9)设置靶基座(1)上；
还包括：
水冷腔(7)，其设置绝缘板(9)上，用于冷却；
靶材(2)，其设置在水冷腔(7)上；
靶压盖(6)，其设置在水冷腔(7)上，并压紧所述靶材(2)；
阳极罩(8)，其设置在靶基座(1)上，并与其扣合；
所述磁极(3)包括至少一对N极磁极(31)和S极磁极(32)；
工作时，多个磁极沿磁极回转系统的径向均布放置，使得磁感应线沿靶材周向排布。
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