[发明专利]一种对位模块及真空蒸镀装置

说明书

本发明涉及一种对位模块及真空蒸镀装置，其中，对位模块，用以实现掩膜版上对位孔与硅基板上对位标志的对位配合，包括：置于所述对位孔正下方的镜面；以及置于所述镜面外侧的图像采集装置。有益效果是：将原本位于腔室内部的对位摄像头改到腔室外部，通过腔室内的镜面将对位画面反射到摄像头实现对位，可以避免摄像头镜头被蒸发的OLED材料污染；避免摄像头被加热源长时间烘烤的问题，大大延长了摄像头的使用寿命；便于维修或更换，可以让设备快速恢复工艺状态，提高生产效率。

技术领域

本发明涉及真空蒸镀技术领域，尤其是涉及一种对位模块及真空蒸镀装置。

背景技术

OLED即有机发光二极管OLED(Organic Light-Emitting Diode)，是一种利用多层有机薄膜结构产生电致发光的器件。OLED显示技术具有全固态、自发光、对比度高、功耗低、色域广、视角广、响应速度块、工作温度范围广等一系列优点，被业界公认为是继液晶显示器(LCD)之后的第三代显示技术，能极大地满足消费者对显示技术的新需求。全球越来越多的显示器厂家纷纷投入研发及量产，大大的推动了OLED的产业化进程。

硅基OLED微型显示器，是半导体技术和OLED显示技术的结合，不但具备OLED显示器的上述优点，同时还具备半导体芯片微型化和高度集成的优点。其尺寸一般在1英寸以内，像素密度可高达5000PPI以上，远高于玻璃基板OLED显示器，在即将爆发的近眼显示领域有广阔的应用前景。

硅基OLED微型显示器，通常包括具有驱动电路的硅基板和基板之上的OLED发光结构，而OLED发光结构一般是通过真空蒸镀工艺制成。具体地，在制作好CMOS驱动电路的硅基板上先制备金属阳极像素，然后使用金属掩模版掩膜，将多种OLED材料及阴极层蒸镀到基板的特定区域，从而在硅基板上得到可驱动的OLED器件，最后再使用密封工艺对OLED器件进行保护。

在上述有机发光结构的制作过程中，要保证金属掩模版和硅基板精确对位，才可以确保有机材料准确地蒸镀到基板上的目标区域形成OLED发光器件。目前，较常用的一种对位手段是通过在金属掩模版上设置数个对位孔、在硅基板上设置数个对位标志，由CCD摄像头采集上述两者的对位画面，结合高精度对准平台驱动硅基板或掩模版移动实现对位。

具体地，参照图1所示，在现有硅基OLED蒸镀设备上，包括腔室100’、蒸发源105’、蒸发源挡板106’、基板101’、掩膜版102’、摄像头103’和承载及驱动组件104’。对位摄像头103’置于腔室100’内的承载及驱动组件104’上；进行对位时，承载及驱动组件104’驱动摄像头103’移动到掩模版102’对位孔的下方，开始采集对位画面及偏差数据，对准平台驱动硅基板101’或掩模版102’移动实现对位；对位结束后，硅基板101’和掩模版102’的位置被固定装置锁死，摄像头103’移动到外侧初始位置，避免对蒸镀路径形成阻挡，然后可进行蒸镀工艺。

但是，现有的CCD对位系统有几点不足，其一，摄像头容易被蒸发的OLED材料污染，导致画面对比度下降，需要定期清理；其二，腔室内加热源产生的热量容易损伤摄像头内的电子元器件，特别是蒸镀金属电极的高温加热源，产生大量的热量长时间作用于上方的摄像头，易导致摄像头受损或使用寿命大幅缩短；其三，为避免对蒸镀路径形成阻挡，摄像头需要在对位时从初始位置移动到对位位置，对位结束后再移回初始位置，往返移动增加了对位时间，降低了生产效率，同时，移动装置也使得系统的复杂性增加，可靠性降低；其四，摄像头及配套的活动装置占用了镀膜腔室内较大的空间，让空间有限的腔室内部更加拥挤，不利于维护和清理工作的进行。

因此，本发明提出了一种对位模块、真空蒸镀装置。

发明内容

本发明提供一种对位模块、真空蒸镀装置，可将CCD摄像头放置在镀膜腔室外部，既能避免摄像头被污染和受热损坏，又能简化腔室内部设计，提高设备稳定性和维护便利性。

本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：