[发明专利]一种掩膜导向板、掩膜系统及蒸镀掩膜方法

说明书

本发明涉及一种掩膜导向板、掩膜系统及蒸镀掩膜方法，掩膜导向板包括：导向板本体；若干个导向孔，贯穿于所述导向板本体，并允许流入角度为±θ的蒸发分子通过。有益效果是：在OLED显示器件制作图案化子像素时，掩膜导向板能够避免发生因有机发光材料蒸汽分子流向其他非指定区域而造成边界模糊、甚至混色的问题，从而提高OLED显示装置的显示效果，因此制备了具有高精度的图案化效果的高分辨率OLED显示器件。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其是涉及一种掩膜导向板、掩膜系统及蒸镀掩膜方法。

背景技术

OLED显示器件制备过程中利用精细金属掩膜版形成指定图案，在特定的开口区内分别蒸镀RGB(红绿蓝)子像素的有机发光材料，形成发光层，在蒸镀过程中，由于阴影效应，有机发光材料蒸汽流可能会流向其他非指定区域，从而造成边界模糊、甚至混色问题，降低了OLED显示器件的分辨率，进而影响OLED显示装置的显示效果，如图1所示，蒸发源中蒸发的分子经过掩膜版后向OLED基底的表面沉积，由于OLED基底距离蒸发源具有一定距离，在远离蒸发源的区域，蒸发分子具有较大角度，当较大角度的蒸发分子穿过掩膜版后沉积至非指定区域，并造成边界模糊、甚至混色问题。

因此，本发明提出了一种掩膜导向板、掩膜系统及蒸镀掩膜方法。

发明内容

本发明提供一种掩膜导向板、掩膜系统及蒸镀掩膜方法，以解决现有技术中在蒸镀过程有机发光材料蒸发分子流向其他非指定区域而造成边界模糊、甚至混色的问题。

本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：

一种掩膜导向板，包括：

导向板本体；

若干个导向孔，贯穿于所述导向板本体，并允许流入角度为±θ的蒸发分子通过。

在一些实施例中，所述蒸发分子的流入角度±θ为±0.5°～±18.5°之间。

在一些实施例中，所述导向孔的高度与直径的比不小于3，所述导向孔的高度与直径的比不大于100，当所述导向孔的高度与直径的比小于3时，蒸发分子通过所述导向孔的角度较大，蒸发分子流向其他非指定区域而造成边界模糊、甚至混色的问题，影响沉积工艺效果；当所述导向孔的高度与直径的比大于100时，蒸发分子不能有效通过所述导向孔，造成浪费或蒸镀时间过程，影响沉积工艺效果。

在一些实施例中，所述导向板本体采用刚性材料制作而成，进一步的，如硅、碳化硅、陶瓷、碳纤维等刚性材料，所述刚性材料具有承受热蒸发的温度而无显著变形的特性。

在一些实施例中，所述导向孔成规则的方式分布于所述导向板本体上，所述导向孔为圆孔或正多边形。

在一些实施例中，相邻两个所述导向孔的间距不大于所述导向孔的直径。

本发明还提出了一种掩膜系统，包括：

掩膜版，在所述掩膜版上设有若干个图案化开口；

上述的掩膜导向板，位于所述掩膜版的正下方，蒸发分子经过所述掩膜导向板的阻隔过滤后穿过所述掩膜版，并沉积到OLED基底上。

在一些实施例中，所述图案化开口成规则排列。

在一些实施例中，所述掩膜版与所述掩膜导向板具有一定间距，所述间距不低于所述掩膜导向板上的导向孔的直径。

在一些实施例中，所述导向孔的直径不大于图案化开口的直径。

本发明还提出了一种OLED显示器件的蒸镀掩膜方法，包括以下步骤：

S1将OLED基底、掩膜版、掩膜导向板分别安装在基座上；

S2校准所述掩膜导向板和掩膜版的位置，并使之组成稳定的掩膜系统；