[发明专利]化学机械研磨方法以及化学机械研磨设备

权利要求书

1.一种化学机械研磨方法，其特征在于，包括：

将n个中的每一个待研磨件的研磨表面划分为U个研磨区域，其中，所述研磨区域的数量和化学机械研磨设备中研磨头的数量相等，且一一对应设置，所述n的取值包括大于或等于1的整数，所述U的取值包括大于或等于1的整数；

根据第m个所述待研磨件中每个所述研磨区域的实际研磨厚度，利用所述化学机械研磨设备对第m个所述待研磨件进行化学机械研磨，其中，所述m的取值大于或等于1，且小于或等于n；

根据第m个所述待研磨件中每个所述研磨区域的实际研磨厚度，利用所述化学机械研磨设备对第m个所述待研磨件进行化学机械研磨包括：

确定第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度，所述i的取值大于或等于1，且小于或等于U；

根据第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度，确定第m个所述待研磨件中第i个所述研磨区域对应的研磨头的实际研磨压力；

根据第m个所述待研磨件中第i个所述研磨区域对应的研磨头的实际研磨压力，利用所述化学机械研磨设备对第m个所述待研磨件进行化学机械研磨；

根据第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度，确定第m个所述待研磨件中第i个所述研磨区域对应的研磨头的实际研磨压力包括：

第m个所述待研磨件中第i个所述研磨区域对应的研磨头的实际研磨压力P(m,i)满足如下关系：

其中，P(set.i)为n个所述待研磨件的第i个所述研磨区域对应的研磨头的设定研磨压力，R(act.i)为第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度，R(i)为n个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的平均目标研磨厚度，k1为第一常数；

不同研磨头在第i个所述研磨区域无交叠，所述m的取值为1时，确定第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度包括：

获取第m个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均测量厚度；

获取n个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均目标厚度；

获取n个所述待研磨件研磨后第i个所述研磨区域的平均目标厚度；

根据n个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均目标厚度和n个所述待研磨件研磨后第i个所述研磨区域的平均目标厚度的差值，确定n个所述待研磨件第i个所述研磨区域的平均目标研磨厚度；

确定第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的第一研磨厚度作为第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度，其中，第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的第一研磨厚度R(1，i)满足如下关系：

R(1，i)＝R(i)+(Pre.act.m.i-Pre.tar.i)

其中，R(i)为n个所述待研磨件第i个所述研磨区域的平均目标研磨厚度，Pre.act.m.i为第m个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均测量厚度，Pre.tar.i为n个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均目标厚度；

不同研磨头在第i个所述研磨区域无交叠，所述m的取值大于或等于2时，确定第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度包括：

获取第m个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均测量厚度；

获取n个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均目标厚度；

获取n个所述待研磨件研磨后第i个所述研磨区域的平均目标厚度；

获取第1个至第m-1个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均测量厚度的平均值；

根据n个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均目标厚度和n个所述待研磨件研磨后第i个所述研磨区域的平均目标厚度的差值，确定n个所述待研磨件第i个所述研磨区域的平均目标研磨厚度；

确定第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的第一研磨厚度作为第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度，其中，第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的第一研磨厚度R(1，i)满足如下关系：

R(1，i)＝R(i)+(Pre.act.m.i-Pre.tar.i)+(Pst.act.(m-1).i-Pst.tar.i)

其中，R(i)为n个所述待研磨件第i个所述研磨区域的平均目标研磨厚度，Pre.act.m.i为第m个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均测量厚度，Pre.tar.i为n个所述待研磨件研磨前第i个所述研磨区域的平均目标厚度，Pst.act.(m-1).i为第1个至第m-1个所述待研磨件研磨后第i个所述研磨区域的平均测量厚度的平均值，Pst.tar.i为n个所述待研磨件研磨后第i个所述研磨区域的平均目标厚度；

第i个所述研磨区域和相邻所述研磨区域存在交叠时，确定第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度包括：

根据第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的第一研磨厚度，确定第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域对应的研磨头的第一研磨压力；

确定作用在第i个所述研磨区域的至少一个所述研磨头的第一研磨压力权重比，其中，与第i个所述研磨区域存在交叠的所述研磨区域以及第i个所述研磨区域对应的研磨头的第一研磨压力作用在第i个所述研磨区域，且与第i个所述研磨区域存在交叠的所述研磨区域的数量为S，所述S的取值大于或等于1，且小于或等于U-1；

确定第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的第二研磨厚度作为第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的实际研磨厚度，其中，第m个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的第二研磨厚度R(2，i)满足如下关系：

其中，R(i)为n个所述待研磨件的第i个所述研磨区域的平均目标研磨厚度，P(1.i)为第i个所述研磨区域对应的研磨头的第一研磨压力，P(set.i)为第i个所述研磨区域对应的研磨头的设定研磨压力，Qi为第i个所述研磨区域的对应的研磨头的第一研磨压力权重比，k1为第一常数，j的取值和i的取值不同，且第j个所述研磨区域是与第i个所述研磨区域存在交叠的所述研磨区域中的一个。