[发明专利]一种干膜抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：包括以下重量份的原料：碱溶性树脂45~65份，光聚合单体35~50份，光引发剂0.1~5.0份；所述光聚合单体包括极性基团改性、EO/PO修饰的（甲基）丙烯酸酯化合物，所述极性基团为磷酸酯类、异氰尿酸类、1,3,5-三嗪类、嘧啶类或者喹唑啉类基团。

2.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述极性基团改性、EO/PO修饰的（甲基）丙烯酸酯化合物选自由式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ表示的化合物中的一种或者多种：

其中，m为4~30的整数，n为0~30的整数，R为H或者CH₃，R*为碳原子个数在1~10个的直链或支链烷基。

3.根据权利要求1或2所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述极性基团改性、EO/PO修饰的（甲基）丙烯酸酯化合物在光聚合单体中占比2~47wt%，在碱溶性树脂和光聚合单体中占比1~16wt%，所述极性基团改性、EO/PO修饰的（甲基）丙烯酸酯化合物的重均分子量为600~6000g/mol。

4.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述光聚合单体还包括通式（Ⅵ）所示的EO/PO修饰的双酚A结构（甲基）丙烯酸酯：

其中，R₁为H或者CH₃，m₁、m₂分别为1~30的整数， n₁、n₂分别为0~20的整数，m₁+m₂为4~30的整数，n₁+n₂为0~20的整数。

5.根据权利要求4所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述EO/PO修饰的双酚A结构（甲基）丙烯酸酯在光聚合单体中占比20~87wt%，在碱溶性树脂和光聚合单体中占比13~40wt%。

6.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述光聚合单体还包括单官能团、双官能团或者多官能团的（甲基）丙烯酸酯类烯属不饱和双键单体。

7.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述碱溶性树脂由以下组份共聚而成：（甲基）丙烯酸15~35wt%，（甲基）丙烯酸酯0~50wt%，苯乙烯或其衍生物0~60wt%；所述（甲基）丙烯酸的结构式如式Ⅶ所示，所述（甲基）丙烯酸酯的结构式如式Ⅷ所示，所述苯乙烯或其衍生物的结构式如式Ⅸ所示：

其中，R₂ 、R₃为氢原子或者甲基，R₄可选自C1~C18的直链或者支链烷基、苄基、含有羟基或者氨基取代基的C1~C6的烷基，R₅为碳原子数1~3的烷基、碳原子数1~3的烷氧基、氨基或者卤原子或者氢原子，并且在苯环上取代的个数为1~5。

8.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述碱溶性树脂的酸值在120~250 mg KOH/g，重均分子量在30000~100000，分子量分布在1.3~2.5，聚合转化率≥97%。

9.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述光引发剂包括第一类光引发剂，所述第一类光引发剂选自吖啶系列化合物、六芳基双咪唑系列化合物中的一种或者多种。

10.根据权利要求9所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述光引发剂还包括第二类光引发剂，所述第二类光引发剂选自N-苯基甘氨酸、安息香醚、二苯甲酮及其衍生物、硫杂蒽酮系列化合物、蒽醌及其衍生物、噻吨酮系类化合物、苯偶酰衍生物、香豆素系化合物、恶唑系化合物中的一种或者多种。

11.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂组合物，其特征在于：所述原料还包括添加剂1.0~5.0质量份，所述添加剂为增感剂、供氢体发色剂、染色剂、增塑剂、光热稳定剂、流平剂、消泡剂、阻聚剂中的一种或多种。