[发明专利]一种双面对位贴合精度检测系统

权利要求书

1.一种双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，包括：

光线准直装置，所述光线准直装置包括相向设置的光线准直装置一、光线准直装置二，所述光线准直装置一、光线准直装置二用于将发散光准直为平行光；

光路转换装置，所述光路转换装置设置在所述光线准直装置一与光线准直装置二之间，所述光路转换装置用于将所述光线准直装置一、光线准直装置二准直后的光线进行角度调节以使射出的光线与准直后的光线相平行；

成像装置，所述成像装置设置在所述光路转换装置的一侧，所述成像装置用于接收所述光路转换装置射出的光线进行成像。

2.根据权利要求1所述的双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，所述光线准直装置一包括准直透镜一（3），所述光线准直装置二包括准直透镜二（4）。

3.根据权利要求2所述的双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，还包括光源，所述光源分别设置在所述准直透镜一（3）的入射侧以及准直透镜二（4）的入射侧。

4.根据权利要求1所述的双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，所述光路转换装置包括光线偏转元件一、光线偏转元件二，所述光线偏转元件一用于将所述光线准直装置一、光线准直装置二准直后的光线偏转一定角度射出至所述光线偏转元件二上，所述光线偏转元件二用于将接收的光线偏转至所述成像装置。

5.根据权利要求4所述的双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，所述光线偏转元件一为反射镜一（5），所述反射镜一（5）包括两个反射面，其中一个所述反射面用于将所述光线准直装置一准直后的光线偏转90度射出至所述光线偏转元件二上，另一个所述反射面用于将所述光线准直装置二准直后的光线偏转90度射出至所述光线偏转元件二上。

6.根据权利要求5所述的双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，所述光线偏转元件二为反射镜二（6），所述反射镜二（6）用于将接收的光线偏转90度射出至所述成像装置。

7.根据权利要求5所述的双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，所述光线偏转元件二包括半透半反镜（61）、三棱镜（62），所述半透半反镜（61）可将所述反射镜一（5）射出的光线射至所述三棱镜（62）上，还可将所述三棱镜（62）反射出的光线偏转90度射出至所述成像装置。

8.根据权利要求7所述的双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，所述三棱镜（62）包括透射面、反射面一、反射面二，所述反射面一与所述反射面二之间形成一定的夹角，所述透射面朝向所述半透半反镜（61）。

9.根据权利要求1所述的双面对位贴合精度检测系统，其特征在于，所述成像装置包括成像透镜组（7）和CCD相机（8），所述成像透镜组（7）用于将所述光路转换装置射出的光线进行成像，所述CCD相机（8）采集相应图像。