[发明专利]层叠体、LTCC器件及其制造方法

权利要求书

1.层叠体，其特征在于，用于制造LTCC器件，所述层叠体包括：

基片，所述基片上设有用于形成所述LTCC器件一面电路图形的第一图案，所述基片为牺牲材料层；以及，

多个生瓷片，依次叠置于所述基片上设有所述第一图案的一侧；各所述生瓷片上设有用于形成所述LTCC器件上对应一层电路图形的第二图案。

2.具有双面图案LTCC器件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：制备如权利要求1所述的层叠体；

步骤二：将所述层叠体切割成生胚块；

步骤三：对所述生胚块进行烧结，使层叠的所述生瓷片烧结成一体，并使所述牺牲材料层燃烧去除以将所述基片上的所述第一图案烧结固定于相邻的所述生瓷片烧结形成的瓷片上。

3.如权利要求2所述的具有双面图案LTCC器件的制造方法，其特征在于，所述步骤一包括：

制作所述基片；

提供载台，将所述基片固定于所述载台上；

在所述基片上印刷用于形成所述LTCC器件一面电路图形的第一图案；

制作生瓷片；

在所述基片上叠置一层所述生瓷片，在所述生瓷片上印刷第二图案；重复叠置所述生瓷片，并在所述生瓷片上印刷图案，直至完成所述LTCC器件另一面电路图形的第二图案的印刷，得到所述层叠体；

将所述层叠体从所述载台上剥离。

4.如权利要求3所述的具有双面图案LTCC器件的制造方法，其特征在于，所述步骤一还包括：

在所述载台上涂设粘合层，通过所述粘合层将所述基片粘贴于所述载台上。

5.如权利要求4所述的具有双面图案LTCC器件的制造方法，其特征在于，所述步骤一还包括：

对所述载台及粘贴于所述载台上的所述层叠体进行加热，使得所述粘合层软化，然后将所述层叠体从所述载台上剥离。

6.如权利要求2所述的具有双面图案LTCC器件的制造方法，其特征在于，所述步骤一包括：

制作所述生瓷片，在各层所述生瓷片上印刷第二图案；

制作所述基片，在所述基片上印刷用于形成所述LTCC器件一面电路图形的第一图案；

提供载台，将所述生瓷片及所述基片依次层叠于载台上，对应所述LTCC器件另一面电路图形的第二图案的生瓷片叠置于底层，所述基片叠置于各所述生瓷片远离所述载台的一侧；各所述生瓷片上的第二图案朝向靠近所述载台的一侧,所述基片上的第一图案朝向靠近所述载台的一侧；得到所述层叠体；

剥离所述层叠体。

7.如权利要求6所述的具有双面图案LTCC器件的制造方法，其特征在于，所述步骤一包括：

提供具有粘性的载膜，将所述载膜固定于所述载台上，将所述生瓷片叠置于所述载膜上，通过所述载膜将所述生瓷片固定于所述载台上；

在剥离所述层叠体时，先将所述载膜及所述层叠体与所述载台分离，再将所述载膜从所述层叠体上剥离。

8.如权利要求2所述的具有双面图案LTCC器件的制造方法，其特征在于，在所述步骤二中还包括：

对所述层叠体进行真空包装后进行热水等静压操作。

9.如权利要求3至8任一项所述的具有双面图案LTCC器件的制造方法，其特征在于，所述步骤一包括：

将牺牲材料、粘结剂和溶剂混合制成浆料，通过所述浆料流延制成带料，将所述带料分切得到所述基片。

10.LTCC器件，其特征在于：所述LTCC器件由如权利要求2-9任一项所述的具有双面图案LTCC器件的制造方法制成。