[发明专利]efuse熔丝的版图结构在审
| 申请号： | 202110468485.7 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113013140A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 张黎;晏颖 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L27/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | efuse 版图 结构 | ||
1.一种efuse熔丝的版图结构，其特征在于，包括分别位于两层上下叠放的金属层中的：
两个焊盘，在第一方向上的投影部分重叠；
两个通孔，分别位于两层所述金属层中，且一个所述通孔与另一个所述通孔在所述第一方向上的位置相同；
两个熔丝本体，沿第二方向设置，且一个所述熔丝本体的两端分别与一个所述焊盘及一个所述通孔对应连接；
一个导电连接件，沿所述第一方向设置并将两个所述通孔连接；
其中，两个所述熔丝本体与所述导电连接件构成串联结构，所述串联结构在平行于所述第二方向上的平面上的投影呈U型。
2.如权利要求1所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，所述U型底部的两个拐角均为直角。
3.如权利要求1所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，一个所述熔丝本体为一字型，另一个所述熔丝本体为L型；以及，
L型的所述熔丝本体包括第一部分和第二部分，所述第一部分和第二部分构成L型的长边和短边，一字型的所述熔丝本体平行于所述第一部分设置且端部与所述第二部分的端部连接。
4.如权利要求3所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，两个所述通孔分别位于所述第二部分的端部和一字型的所述熔丝本体的端部。
5.如权利要求1或3所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，两个所述熔丝本体沿所述第二方向的长度相等。
6.如权利要求5所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，两个所述熔丝本体沿垂直于所述第二方向的宽度相等。
7.如权利要求1所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，两个所述熔丝本体分别与对应的所述焊盘的侧边的中心连接。
8.如权利要求1所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，两个所述通孔在垂直于所述第一方向上的横截面均为正方形且面积相等。
9.如权利要求8所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，所述导电连接件在垂直于所述第一方向上的横截面积与所述通孔的横截面积相同。
10.如权利要求1所述efuse熔丝的版图结构，其特征在于，两个所述焊盘在垂直于所述第一方向上的横截面均为矩形且面积相等。
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