[发明专利]一种ITO残靶回收料制备ITO蒸发料的方法有效
| 申请号： | 202110469072.0 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113233871B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 余芳;文崇斌;朱刘;童培云 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;魏微 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ito 回收 制备 蒸发 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种ITO残靶回收料制备ITO蒸发料的方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将ITO残靶经过预处理，得预处理后的ITO残靶；所述预处理为：对ITO残靶的表面进行打磨抛光并清洗；
(2)将所述预处理后的ITO残靶破碎，过325目筛，得破碎好的ITO粉末；
(3)将所述破碎好的ITO粉末装入模具中，然后置于热压炉内，在50～100MPa下进行预压；
(4)预压结束后，热压炉内抽真空到＜10Pa后，以5～10℃/min的升温速率升温至600～1200℃，并保温50～80min，在保温的同时升压至100～200MPa，在100～200MPa下保持30～50min，随炉冷却，即得所述ITO蒸发料；所述升压的时间为≤20min。
2.如权利要求1所述ITO残靶回收料制备ITO蒸发料的方法，其特征在于，步骤(4)中，所述冷却后还包括：将经过CNC加工、破碎或切割至所需尺寸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料（广东）有限公司，未经先导薄膜材料（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110469072.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
