[发明专利]集成电路和集成电路组在审

专利信息
申请号: 202110478287.9 申请日: 2016-07-29
公开(公告)号: CN113192951A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 宋泰中;白尚训;赵成伟;都桢湖;梁箕容;林辰永 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;G06F30/392;G06F30/394;G06F30/398
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 郭文峰;韩芳
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 集成电路
【权利要求书】:

1.一种集成电路,所述集成电路包括:

基底;

第一有源区域;

第二有源区域,在第一方向上与第一有源区域间隔开;

第一电源线,平行于与第一方向交叉的第二方向延伸;

第二电源线,平行于第二方向延伸;

多个栅极图案,平行于第一方向延伸,其中,所述多个栅极图案在第二方向上彼此间隔开;

第一接触件,设置在第一有源区域和第二有源区域中的至少一个内,并设置在所述多个栅极图案中的至少一个上;

下金属线;

上金属线;

过孔,将下金属线连接到上金属线;

多个鳍,沿第二方向延伸,其中,所述多个鳍形成在第一有源区域和第二有源区域中的所述至少一个上;

源区/漏区,设置在第一有源区域和第二有源区域中的所述至少一个的部分中,并位于所述多个栅极图案中的所述至少一个的两侧处;以及

第二接触件,连接到源区/漏区;

其中,所述多个栅极图案在所述多个鳍上设置为沿第一方向跨过所述多个鳍并彼此平行地延伸;

其中,第一接触件设置在第一层中,下金属线设置在第二层中,上金属线设置在第三层中;

其中,第一接触件将所述多个栅极图案中的所述至少一个电连接至下金属线;

其中,第一接触件包括与所述多个栅极图案中的所述至少一个接触的第一部分和与下金属线接触的第二部分;并且

其中,第一有源区域和第二有源区域分别包括PMOSFET区域和NMOSFET区域。

2.根据权利要求1所述的集成电路,其中,第一层至第三层是层间绝缘层。

3.根据权利要求1所述的集成电路,其中,源区/漏区是外延图案。

4.根据权利要求1所述的集成电路,其中,源区/漏区由晶格常数不同于基底的晶格常数的半导体材料形成或包括晶格常数不同于基底的晶格常数的半导体材料。

5.根据权利要求1所述的集成电路,其中,第二接触件包括沿所述多个鳍并在第二方向上布置的多个第二接触件。

6.根据权利要求1所述的集成电路,所述集成电路还包括覆盖图案,覆盖图案设置为覆盖所述多个栅极图案中的每个栅极图案的顶表面。

7.根据权利要求1所述的集成电路,所述集成电路还包括多个第一隔离层,所述多个第一隔离层设置在所述多个鳍中的每个鳍的两侧处。

8.根据权利要求7所述的集成电路,所述集成电路还包括第二隔离层,第二隔离层插置在第一有源区域和第二有源区域之间。

9.根据权利要求8所述的集成电路,其中,第二隔离层的底表面低于所述多个第一隔离层的底表面。

10.根据权利要求8所述的集成电路,其中,第二隔离层限定PMOSFET区域和NMOSFET区域。

11.根据权利要求8所述的集成电路,其中,第二隔离层的深度大于所述多个第一隔离层的深度。

12.根据权利要求1所述的集成电路,其中,下金属线平行于第二方向延伸。

13.根据权利要求1所述的集成电路,其中,上金属线平行于第一方向延伸。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社,未经三星电子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110478287.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top