[发明专利]一种混合波长半导体激光器TO封装结构

权利要求书

1.一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，包括管座、管舌、管壳、若干激光器、若干合束器和光传输装置，所述管壳罩设于所述管座、并与所述管座相配合形成一容置腔，所述管舌设于所述容置腔内，并与所述管座连接，若干所述激光器、若干所述合束器和所述光传输装置分别设于所述容置腔内，且若干所述激光器分别与所述管舌、所述合束器及所述光传输装置连接，所述光传输装置沿所述合束器出射光光路方向设置，所述管壳设有用于所述光传输装置的输送光束穿过的输出窗口。

2.根据权利要求1所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，还包括光波导结构，所述光波导结构分别与所述管舌和所述激光器连接。

3.根据权利要求2所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，所述光波导结构，包括氧化掩埋层和耦合波导层，所述光波导结构通过过渡热沉与所述管舌连接，所述耦合波导层设有气孔。

4.根据权利要求3所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，所述激光器包括依次设置的器件衬底层、器件有源区和器件正面欧姆接触层，所述器件衬底层与所述耦合波导层连接，所述器件衬底层设有器件背面欧姆接触层，所述管舌设有电极引线平台，所述器件背面欧姆接触层和所述电极引线平台通过引线连接。

5.根据权利要求4所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，所述器件衬底层与所述耦合波导层键合连接。

6.根据权利要求3所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，所述光波导结构，可以设为圆形或半圆形。

7.根据权利要求3所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，所述耦合波导层的横截面可以固定不变或逐渐变化。

8.根据权利要求1所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，若干所述激光器的出射光可以是脉冲或连续光。

9.根据权利要求1所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，若干所述激光器的出射光的波长可以相同或不同。

10.根据权利要求1所述的一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其特征在于，所述合束器采用SOI结构。