[发明专利]一种混合波长半导体激光器TO封装结构

说明书

本发明涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种混合波长半导体激光器TO封装结构，所述管壳罩设于所述管座、并与所述管座相配合形成一容置腔，所述管舌设于所述容置腔内，并与所述管座连接，若干所述激光器、若干所述合束器和所述光传输装置分别设于所述容置腔内，且若干所述激光器分别与所述管舌、所述合束器及所述光传输装置连接，所述光传输装置沿所述合束器出射光光路方向设置，所述管壳设有用于所述光传输装置的输送光束穿过的输出窗口，本发明结构简单合理，通过设置若干合束器，将若干激光器的出射光进行多波长耦合，并经光学窗口输出若干束混合波长，其输出了混合波长光束，并有效提升了光束质量，可以满足激光显示光源的使用需求。

技术领域

本发明涉及半导体器件技术领域，特别是涉及一种混合波长半导体激光器 TO封装结构。

背景技术

激光显示，是继黑白显示、彩色显示和数字显示之后的新一代技术，被称为“人类视觉史上的革命”，激光显示具有色域范围广、寿命长、节环保等特点，微型全固态激光器被制造出来之后，电脑将不再需要液晶屏幕，只需随时随地投影，而手机屏幕则可放大数十倍。激光显示技术将成为未来高端显示的主流，应用于公共信息大屏幕、激光电视、数码影院、手机投影显示、便携式投影显示、大屏幕指挥及个性化头盔显示系统等领域，可在超大屏幕展现更逼真、更绚丽的动态图像，产生意想不到的震撼。

半导体激光器作为激光显示光源，将会在未来的激光显示领域发挥重要作用，目前半导体激光器一般采用TO管座进行封装，但是采用TO封装结构的半导体激光器要么只有一种波长，要么光束质量不理想，不能满足更高要求的使用需求，为此，我们将引入一种新型的TO封装结构的半导体激光器，既可以将多波长耦合到一起，也可以通过光学集成，提高光束质量。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种混合波长半导体激光器TO封装结构，其结构简单，设计合理，通过光束耦合，有效提升光束质量。

本发明采用的技术方案是：

一种混合波长半导体激光器TO封装结构，包括管座、管舌、管壳、若干激光器、若干合束器和光传输装置，所述管壳罩设于所述管座、并与所述管座相配合形成一容置腔，所述管舌设于所述容置腔内，并与所述管座连接，若干所述激光器、若干所述合束器和所述光传输装置分别设于所述容置腔内，且若干所述激光器分别与所述管舌、所述合束器及所述光传输装置连接，所述光传输装置沿所述合束器出射光光路方向设置，所述管壳设有用于所述光传输装置的输送光束穿过的输出窗口。

作为进一步的技术方案，还包括光波导结构，所述光波导结构分别与所述管舌和所述激光器连接。

作为进一步的技术方案，所述光波导结构，包括氧化掩埋层和耦合波导层，所述光波导结构通过过渡热沉与所述管舌连接，所述耦合波导层设有气孔。

作为进一步的技术方案，所述激光器包括依次设置的器件衬底层、器件有源区和器件正面欧姆接触层，所述器件衬底层与所述耦合波导层连接，所述器件衬底层设有器件背面欧姆接触层，所述管舌设有电极引线平台，所述器件背面欧姆接触层和所述电极引线平台通过引线连接。

作为进一步的技术方案，所述器件衬底层与所述耦合波导层键合连接。

作为进一步的技术方案，所述光波导结构，可以设为圆形或半圆形。

作为进一步的技术方案，所述耦合波导层的横截面可以固定不变或逐渐变化。

作为进一步的技术方案，若干所述激光器的出射光可以是脉冲或连续光。

作为进一步的技术方案，若干所述激光器的出射光的波长可以相同或不同。

作为进一步的技术方案，所述合束器采用SOI结构。

本发明的有益效果如下：