[发明专利]用于蚀刻液循环再生系统的自动调药装置、方法及控制器

权利要求书

1.一种用于蚀刻液循环再生系统的自动调药装置，其特征在于，所述自动调药装置包括：第一容器，第二容器，药料输送设备，以及控制器；

第一容器，用于容纳补充药料；第二容器，用于容纳再生液，并接收补充药料，以进行组分调配；药料输送设备设置在第一容器与第二容器之间，用于将第一容器内的补充药料输送至第二容器中；

控制器与药料输送设备通信连接，用于通过启动信号或者停止信号控制药料输送设备的启动或者停止，以从第一容器向第二容器输送指定量的补充药料。

2.根据权利要求1所述的自动调药装置，其特征在于，所述药料输送设备包括入口管道和出口管道，入口管道与第一容器连接，出口管道与第二容器连接；药料输送设备配置为产生真空并与环境空间形成气压差，驱动管道内气体流动，带动物料从第一容器向第二容器运动。

3.根据权利要求1所述的自动调药装置，其特征在于，所述药料输送设备与第二容器之间设置有称重投料设备；

所述称重投料设备包括称重平台、称重传感器和放料盖；其中，称重传感器设置在称重平台下方，并与控制器通信连接，以向控制器发送检测到的重量信号；

所述放料盖设置在称重平台底部，放料盖还包括配置为与称重平台底部连接的机械开合装置，以在接收闭合信号后闭合放料盖，将称重平台内的物料保持在称重平台内；或者在接收打开信号后打开放料盖，将称重平台内的物料卸载到称重平台下方。

4.根据权利要求1所述的自动调药装置，其特征在于，所述第二容器上设置有自动取样分析设备，其包括电极支架、检测电极、分析处理器；

检测电极通过电极支架固定在第二容器内以获取电位信号；分析处理器用于对于检测到的电位信号进行分析处理以获取第二容器包含特定物质质量浓度数据，并通过分析结果信号将数据发送至控制器。

5.根据权利要求3所述的自动调药装置，其特征在于，所述称重投料设备进一步包括进料斗和/或下料口；

所述进料斗开口端与药料输送设备的出口管道连接，进料斗收口端伸入称重平台内，进料斗收口端与称重平台设置为成预设角度，以将补充药料从指定角度输送到称重平台上；

所述下料口设置为具有斜坡的料槽形状，斜坡顶端与称重平台下端的放料盖相对应设置，斜坡底端与第二容器相连，且下料口的倾斜坡度设置为可调节。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的自动调药装置，其特征在于，进一步包括搅拌机；

所述搅拌机的控制电路与所述控制器连接，搅拌机的搅拌叶片设置在第二容器内，并根据控制器的搅拌速度信号提高或者降低搅拌叶片的转速。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的自动调药装置，其特征在于，进一步包括设置在第一容器内且与控制器通信连接的料位传感器，以向控制器发送料位信号。

8.一种用于蚀刻液循环再生系统的自动调药方法，其特征在于，所述自动调药方法包括以下步骤：

从自动取样分析设备接收分析结果信号，获取分析结果数据；

根据分析结果数据，以及预设的调药参数和第二容器的定容体积计算添加补充药料的指定质量；

向药料输送设备发送启动信号和/或停止信号，以将指定质量的补充药料从第一容器输送到第二容器。

9.根据权利要求8所述的自动调药方法，其特征在于，所述自动调药方法进一步包括：

控制器根据药料输送设备输送补充药料的通量和指定质量，计算药料输送设备的开启时间长度，并在发送启动信号后，经过开启时间长度后发送停止信号；

或者，控制器先向放料盖发送闭合信号，并在向药料输送设备发送启动信号开始输料后，以指定频率持续读取称重传感器的检测数据，当来自称重传感器的检测信号获取的重量值达到指定质量时，向药料输送设备发送停止信号停止输料，并向放料盖发送打开信号。

10.一种用于蚀刻液循环再生系统的自动调药控制器，其特征在于，包括至少一个处理器，以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行权利要求8或9所述的自动调药方法。