[发明专利]一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构

权利要求书

1.一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构，其特征在于：包括依次串联的CAN卡和若干个CAN分线盒，远离CAN卡的最末端的CAN分线盒并联有终端电阻，若干个CAN分线盒均与不同的硅片自动存储盒连接；每个CAN分线盒均串联有若干个硅片自动存储盒；

所述硅片自动存储盒结构如下：

包括对称设置的至少一组输送带(126)，至少一组所述输送带(126)的相对侧面设有相对应的用于支撑晶圆(150)的固定齿(127)，至少一组所述输送带(126)的两端分别设有顶部传感器(132)和底部传感器(113)，所述顶部传感器(132)用于检测输送带(126)的顶部是否有晶圆(150)，所述底部传感器(113)用于检测是否有固定齿(127)经过，还包括底座(100)和固定于所述底座(100)上的驱动电机(120)，所述底座(100)上垂直设有固定支架，所述固定支架的上下两侧设有从动轴(125)，所述从动轴(125)上设有用于驱动输送带(126)的转动轮(124)，所述转动轮(124)通过传动皮带(122)与所述驱动电机(120)的传动轮(121)连接，包括两组输送带(126)且相互平行设置，每组输送带(126)包括对称设置的两个输送带(126)，两组输送带(126)上的固定齿(127)的数量相同，所述固定支架包括下固定支架(110)和上固定支架(130)，所述下固定支架(110)和上固定支架(130)均设有转轴固定孔(111)用于固定所述从动轴(125)，所述顶部传感器(132)与上固定支架(130)固定，所述底部传感器(113)与下固定支架(110)固定，所述底座(100)或下固定支架(110)上设有固定装置(116)，所述固定装置(116)用于固定转动轴(115)和所述驱动电机(120)的驱动轴(114)，所述转动轴(115)和驱动轴(114)平行设置且通过齿轮组(128)传动，所述转动轴(115)和驱动轴(114)上均设有传动轮(121)，所述齿轮组(128)为一对规格相同且相互啮合的齿轮；所述驱动电机(120)为一体式伺服驱动电机，所述驱动电机(120)包括编码器、控制板和刹车机构，所述控制板与顶部传感器(132)、底部传感器(113)通讯连接。

2.根据权利要求1所述的一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构，其特征在于：所述CAN卡和CAN分线盒之间的CAN通讯线线长小于200cm，若干个CAN分线盒之间的CAN通讯线线长小于150cm，CAN分线盒与硅片自动存储盒之间的CAN通讯线线长小于30cm，相连接的硅片自动存储盒之间的CAN通讯线线长小于30cm。

3.根据权利要求1所述的一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构，其特征在于：每个CAN分线盒串联有若干个硅片自动存储盒的线路上远离CAN分线盒的方向的最后一个硅片自动存储盒并联有1200欧姆的电阻。

4.根据权利要求1所述的一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构，其特征在于：所述CAN卡并联有终端电阻，所述终端电阻为120欧姆的电阻。

5.根据权利要求1所述的一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构，其特征在于：所述CAN卡通讯连接有上位机，所述上位机与硅片自动存储盒均设有对应的ID。