[发明专利]一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构

说明书

本发明的一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构，属于硅片存储技术领域。包括依次串联的CAN卡和若干个CAN分线盒，远离CAN卡的最末端的CAN分线盒并联有终端电阻，若干个CAN分线盒均与不同的硅片自动存储盒连接。通过采用“直线型”和“星型”混合的拓扑结构，方便现场布线，每条分支长度缩短，能够尽保证较高的通讯速率和控制上的实时性，无需增加任何硬件通讯接口。上位机(IPC)这边只需要安装一块PCI_CAN卡，使用CAN通讯线连接到CAN分线盒即可不需要增加额外硬件。该系统结构可以通过串联的方式方便的增加CAN分线盒和硅片自动存储盒，也可以进行方便的拆装，通讯链路简化，减少许多通讯线缆，降低系统成本。

技术领域

本发明属于硅片存储技术领域，具体来说是一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构。

背景技术

目前在硅片生产和制造中需要进行各种工艺制程流程或分选过程，机械手经常要将硅片从存储盒中放入和取出，机械手的片叉需移动到硅片存储盒中每一槽中去取或放硅片。而使用自动硅片存储盒时，机械手只需在自动硅片存储盒最上方的槽位取片即可。自动硅片存储盒能够自动升降存储盒中的每一槽，可以始终将需要取放的槽位移动至最上方，方便机械手取放硅片。同时上位机能够实时获取存储盒的状态信息和下发控制每个自动硅片存储盒动作。当自动存储盒数量较多时，使用常规单一的CAN网络的拓扑结构如：线形拓扑、星形拓扑、树形拓扑和环形拓扑时，通讯线缆会比较繁多，且通讯速率会受通讯线过长而降低，实时性不好，整个系统会很繁杂，不方便维修维护，同时拓展硬件设备也不方便。

发明内容

1.发明要解决的技术问题

本发明的目的在于解决现有的自动硅片存储盒总线方式比较繁琐且不便于维修的问题，以及保证较高的通讯速率。

2.技术方案

为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：

本发明的一种自动硅片存储装置的CAN总线拓扑结构，包括依次串联的CAN卡和若干个CAN分线盒，远离CAN卡的最末端的CAN分线盒并联有终端电阻，若干个CAN分线盒均与不同的硅片自动存储盒连接。

优选的，所述CAN卡和CAN分线盒之间的CAN通讯线线长小于200cm，若干个CAN分线盒之间的CAN通讯线线长小于150cm，CAN分线盒与硅片自动存储盒之间的CAN通讯线线长小于30cm，相连接的硅片自动存储盒之间的CAN通讯线线长小于30cm。

优选的，每个CAN分线盒均串联有若干个硅片自动存储盒，每个CAN分线盒串联有若干个硅片自动存储盒的线路上远离CAN分线盒的方向的最后一个硅片自动存储盒并联有1200欧姆的电阻.

优选的，所述CAN卡并联有终端电阻，所述终端电阻为120欧姆的电阻。

优选的，所述CAN卡通讯连接有上位机，所述上位机与硅片自动存储盒均设有对应的ID。

优选的，所述硅片自动存储盒结构如下：

包括对称设置的至少一组输送带，至少一组所述输送带的相对侧面设有相对应的用于支撑晶圆的固定齿，至少一组所述输送带的两端分别设有顶部传感器和底部传感器，所述顶部传感器用于检测输送带的顶部是否有晶圆，所述底部传感器用于检测是否有固定齿经过。

优选的，还包括底座和固定于所述底座上的驱动电机，所述底座上垂直设有固定支架，所述固定支架的上下两侧设有从动轴，所述从动轴上设有用于驱动输送带的转动轮，所述转动轮通过传动皮带与所述驱动电机的传动轮连接。

优选的，包括两组输送带且相互平行设置，每组输送带包括对称设置的两个输送带，两组输送带上的固定齿的数量相同。

优选的，所述固定支架包括下固定支架和上固定支架，所述下固定支架和上固定支架均设有转轴固定孔用于固定所述从动轴，所述顶部传感器与上固定支架固定，所述底部传感器与下固定支架固定。