[发明专利]阀体结构及具有其的晶圆清洗系统

权利要求书

1.一种阀体结构，其特征在于，包括：

阀座(10)，具有进液口(11)、出液口(12)及过液口(13)，所述过液口(13)与喷液结构(90)的喷液嘴连通；

第一阀体组件，包括第一阀针(20)，所述第一阀针(20)可活动地设置在所述阀座(10)内，以使所述进液口(11)和所述过液口(13)连通或断开连通；

第二阀体组件，包括第二阀针(30)，所述第二阀针(30)可活动地设置在所述阀座(10)内，以使所述出液口(12)和所述过液口(13)连通或断开连通；

其中，当所述第一阀针(20)运动至连通所述进液口(11)与所述过液口(13)的第一位置时，进入至所述进液口(11)内的液体从所述过液口(13)排出；

当所述第二阀针(30)运动至所述出液口(12)与所述过液口(13)连通、所述第一阀针(20)运动至所述进液口(11)与所述过液口(13)断开连通时，缓存在所述喷液嘴内的液体被回吸至所述出液口(12)内；所述阀座(10)还具有第一阀腔(14)及与所述第一阀腔(14)连通的第一阀口(15)，所述进液口(11)通过所述第一阀口(15)与所述过液口(13)连通，所述第一阀针(20)在所述第一阀腔(14)内可活动地设置，以打开或关闭所述第一阀口(15)；所述阀座(10)还具有第二阀腔(16)及与所述第二阀腔(16)连通的第二阀口(17)，所述过液口(13)通过所述第二阀口(17)与所述出液口(12)连通，所述第二阀针(30)在所述第二阀腔(16)内可活动地设置，以打开或关闭所述第二阀口(17)。

2.根据权利要求1所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有：

第一通道(181)，所述第一通道(181)的两端分别与所述进液口(11)和所述第一阀口(15)连通；

第二通道(182)，所述第二通道(182)的两端分别与所述第一阀腔(14)和所述过液口(13)连通。

3.根据权利要求2所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有：

第三通道(191)，所述第三通道(191)的两端分别与所述第一阀腔(14)和所述第二阀口(17)连通；

第四通道(192)，所述第四通道(192)的两端分别与所述第二阀腔(16)和所述出液口(12)连通。

4.根据权利要求3所述的阀体结构，其特征在于，所述第二通道(182)和所述第三通道(191)分别位于所述第一阀腔(14)的两侧，在所述第一阀针(20)关闭所述第一阀口(15)时，所述第二通道(182)通过所述第一阀腔(14)与所述第三通道(191)连通。

5.根据权利要求2所述的阀体结构，其特征在于，所述第一阀体组件还包括第一套筒(40)和第一驱动部(50)，所述第一套筒(40)具有第一进气口(41)；所述第一驱动部(50)包括：

第一活塞(51)，所述第一活塞(51)可升降地设置在所述第一套筒(40)内，所述第一进气口(41)位于所述第一活塞(51)的下方；其中，气体通过所述第一进气口(41)进入至所述第一套筒(40)内，以推动所述第一活塞(51)带动所述第一阀针(20)朝向远离所述第一阀口(15)的一侧运动，进而连通所述第一通道(181)和所述第二通道(182)；

第一弹性件(52)，所述第一弹性件(52)位于所述第一套筒(40)内，以用于向所述第一活塞(51)施加朝向所述第一阀口(15)运动的弹性力。

6.根据权利要求5所述的阀体结构，其特征在于，所述阀体结构还包括：

第一封堵件，可活动地设置在所述第一进气口(41)处；

第三驱动部，所述第三驱动部与所述第一封堵件连接，以驱动所述第一封堵件封堵或避让所述第一进气口(41)。