[发明专利]接合装置和接合方法

说明书

本发明提供一种接合装置和接合方法，提高基板的接合精度。实施方式所涉及的接合装置具备保持部、按压部以及曲率调整部。保持部用于对要被接合的基板进行吸附保持。按压部与被保持部吸附保持的基板的中心部接触地按压基板，来使基板的中心部突出。曲率调整部用于对被按压部按压的基板的曲率进行调整。

技术领域

本公开涉及一种接合装置和接合方法。

背景技术

专利文献1公开了以利用推动构件按压第一基板的中心部来使中心部朝向第二基板突出的状态开始第一基板与第二基板之间的接合。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-153954号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供一种提高基板的接合精度的技术。

用于解决问题的方案

基于本公开的一个方式的接合装置具备保持部、按压部以及曲率调整部。保持部用于对要被接合的基板进行吸附保持。按压部与被保持部吸附保持的基板的中心部接触地按压基板，来使基板的中心部突出。曲率调整部用于对被按压部按压的基板的曲率进行调整。

发明的效果

根据本公开，能够提高基板的接合精度。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的接合系统的结构的示意图。

图2是表示第一实施方式所涉及的第一基板与第二基板接合前的状态的示意图。

图3是表示第一实施方式所涉及的接合装置的结构的示意图。

图4是说明第一实施方式所涉及的接合处理的流程图。

图5是表示第一实施方式所涉及的第一基板的中心部附近的位移量的图。

图6是表示第一实施方式所涉及的接合处理中的第一基板的中心部附近的伸展的图。

图7是表示第二实施方式所涉及的接合装置的结构的示意图。

图8是表示第三实施方式所涉及的接合装置的结构的示意图。

图9是表示第四实施方式所涉及的接合装置的结构的示意图。

附图标记说明

1：接合系统；41、80、81、82：接合装置；100、300、310、320：第一吸盘部；101：保持部；102：撞击器(按压部)；103：空气供给部(曲率调整部)；110d：吹出孔(曲率调整部)；111：吸盘；112：吸引装置；201：保持部(下方保持部)；301：撞击器(曲率调整部)；311：吸引装置；330：温度调整部；W1：第一基板(基板的一例)；W2：第二基板。

具体实施方式

下面，参照附图来详细地说明用于实施基于本公开的接合装置和接合方法的方式(下面记载为“实施方式”)。此外，基于本公开的接合装置和接合方法并不受该实施方式限定。另外，能够在不使处理内容矛盾的范围内将各实施方式适当地进行组合。另外，在下面的各实施方式中，对相同的部位标注相同的标记，并省略重复的说明。

另外，在下面所示的实施方式中，有时使用“固定”、“正交”、“垂直”或者“平行”之类的表达，但是这些表达无需严格地为“固定”、“正交”、“垂直”或者“平行”。即，上述的各表达例如容许制造精度、设置精度等的偏差。

另外，在下面参照的各附图中，有时示出规定彼此正交的X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向、并使Z轴正方向为铅垂向上方向的正交坐标系，以使说明易于理解。另外，有时将以铅垂轴为旋转中心的旋转方向称作θ方向。