[发明专利]一种铂片靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110492699.8 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113231467B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 钱增杰;黄宇彬;童培云 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B21B1/40 | 分类号： | B21B1/40;C22F1/14 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铂片靶材 制备 方法 | ||
1.一种铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)将铂锭在1050～1150℃保温0.8～1.5小时后进行第一轧制得到厚度为2～3mm铂片；第一轧制包括若干个循环轧制A，所述循环轧制A的轧制道次为8～12道次；所述循环轧制A的每个道次的轧制量为2.0～3.0mm；每完成一个循环轧制A于1050～1150℃进行保温；
(2)将步骤(1)处理后的铂片进行退火处理，所述退火处理的方式为通过明火将步骤(1)处理后的铂片烧结成红色后冷却；
(3)将步骤(2)处理后的铂片进行第二轧制得到厚度为0.07～0.10mm的铂片；所述第二轧制的每个道次的轧制量为0.10～0.30mm。
2.根据权利要求1所述铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，若干个循环轧制A的轧制方向相同；所述第一轧制和第二轧制的方向相同，所述轧制方向与轧辊轴线方向垂直。
3.根据权利要求1所述铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，明火为天然气燃烧火焰、甲烷燃烧火焰或氢氧气燃烧火焰。
4.根据权利要求1所述铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，循环轧制A的轧制道次为9～10道次。
5.根据权利要求2所述铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述循环轧制A的每个道次的轧制量为2.2～2.5mm。
6.根据权利要求2所述铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，将步骤(2)处理后的铂片进行第二轧制得到厚度为0.08～0.09mm的铂片。
7.根据权利要求2所述铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，所述第二轧制的每个道次的轧制量为0.15～0.25mm。
8.根据权利要求5所述铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，所述第二轧制的每个道次的轧制量为0.20mm。
9.根据权利要求1所述铂片靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，每完成一个循环轧制A于1050～1150℃进行保温10～30min。
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