[发明专利]一种铂片靶材的制备方法

说明书

本发明提供了一种铂片靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将铂锭在1050～1150℃保温0.8～1.5小时后进行第一轧制得到厚度为2～3mm铂片；第一轧制包括若干个循环轧制A，所述循环轧制A的轧制道次为8～12道次；所述循环轧制A的每个道次的轧制量为2.0～3.0mm；每完成一个循环轧制A于1050～1150℃进行保温；(2)将步骤(1)处理后的铂片进行退火处理，所述退火处理的方式为通过明火将步骤(1)处理后的铂片烧结成红色后冷却；(3)将步骤(2)处理后的铂片进行第二轧制得到厚度为0.07～0.10mm的铂片；所述第二轧制的每个道次的轧制量为0.10～0.30mm。本发明采用铂片靶材的制备方法制备得到的铂片靶材的厚度更小更均匀，而且开裂率较低，成品率高。

技术领域

本发明涉及金属靶材制备领域，具体涉及一种铂片靶材的制备方法。

背景技术

传统的浇铸方法制备的铂金箔片成本率低、损耗大。制备的箔片表面波浪形状缺陷较多，形变大，可以加工制备的箔片厚度均匀性在±0.1。幅宽也很有限，一般在100mm以内。由于模具的形状限制的关系，浇铸出来的只能是一个锭子，如果想使用模具浇铸出来一张300mm*250mm*0.1mm-5mm铂片是不可能的。首先遇到的问题是：1、在浇铸的过程中，液体会在倒入模具的过程中，模具会将液体加速冷却，最后导致整块铂片有缺陷不能形成一个厚度薄、幅度宽的铂片。CN108913973A-一种钨镍铜合金箔片的制备方法公开一种钨镍铜合金箔片的制备方法，通过轧制并且控制轧制的参数来制备钨镍铜合金箔片，但是按照钨镍铜合金箔片的制备方法制备铂片靶材，铂片的均匀性较差，开裂率较高。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供一种铂片靶材的制备方法。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种铂片靶材的制备方法，所述方法包括以下步骤：

(1)将铂锭在1050～1150℃保温0.8～1.5小时后进行第一轧制得到厚度为2～3mm铂片；第一轧制包括若干个循环轧制A，所述循环轧制A的轧制道次为8～12道次；所述循环轧制A的每个道次的轧制量为2.0～3.0mm；每完成一个循环轧制A于1050～1150℃进行保温；

(2)将步骤(1)处理后的铂片进行退火处理，所述退火处理的方式为通过明火将步骤(1)处理后的铂片烧结成红色后冷却；

(3)将步骤(2)处理后的铂片进行第二轧制得到厚度为0.07～0.10mm的铂片；所述第二轧制的每个道次的轧制量为0.10～0.30mm。

上述铂片靶材的制备方法，先通过将将铂片在1050～1150℃保温后进行第一轧制，并且控制第一轧制的参数，第一轧制后进行退火处理，然后结合第二轧制并且控制第二轧制的轧制参数；整体上通过彼此搭配可以使得制备得到的铂片靶材厚度更小，而且厚度更均匀，并且铂片的幅度较大，开裂率较低，成品率高；上述铂片靶材的制备方法通过明火的形式将步骤(1)处理后的铂片烧结成红色后冷却进行退火处理，有利于进一步将铂片的硬度降低，进一步降低了在步骤(3)的第二轧制中铂片的开裂率。

优选地，所述步骤(1)中，若干个循环轧制A的轧制方向相同；所述第一轧制和第二轧制的方向相同，所述轧制方向与轧辊轴线方向垂直。

金属材料在轧制过程中，材料内部晶粒组织沿加工方向延伸、排列或分布形成的纤维组织方向，本发明所述步骤(1)和步骤(2)中的所有轧制处理的轧制方向相同，且轧制方向必须为与轧辊轴线方向垂直的方向，成功避免所述铂片靶材的纤维组织方向混乱，同时减少开裂率。

优选地，所述步骤(2)中，所述步骤(2)中，明火为天然气燃烧火焰、甲烷燃烧火焰或氢氧气燃烧火焰。