[发明专利]一种微机电结构

权利要求书

1.一种微机电结构，其特征在于，包括：

固定部；

移动部，与所述固定部之间形成有间隔空间，所述间隔空间作为所述移动部的移动空间；

制动件，对应所述间隔空间设置；

电致件，连接所述制动件，为所述制动件通电或断电；

在所述电致件通电时，所述制动件变形，至少部分伸入所述间隔空间；在所述电致件断电时，所述制动件形状恢复，离开所述间隔空间。

2.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述固定部形成有容置腔，所述移动部位于所述容置腔内，所述固定部和所述移动部之间四周围绕所述间隔空间。

3.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述制动件呈条状设置。

4.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述制动件为压电薄膜层，所述压电薄膜层的端部形成有运动阻止部，所述运动阻止部可伸入所述间隔空间或离开所述间隔空间。

5.根据权利要求4所述的微机电结构，其特征在于，所述压电薄膜层包括第一电极层、至少一层压电材料层以及第二电极层，所述至少一层压电材料层位于所述第一电极层和所述第二电极层之间，所述运动阻止部位于所述第一电极层背离所述至少一层压电材料层的一侧端部，所述第一电极层和所述第二电极层分别与所述电致件连接；

在所述至少一层压电材料层通电后，以使所述至少一层压电材料层变形以驱动所述运动阻止部运动。

6.根据权利要求5所述的微机电结构，其特征在于，所述压电薄膜层包括压阻层，所述压阻层设置于所述第二电极层远离所述运动阻止部的一侧。

7.根据权利要求1-6任一所述的微机电结构，其特征在于，所述固定部和所述移动部之间有柔性连接件。

8.根据权利要求7所述的微机电结构，其特征在于，所述微机电结构包括连接板，所述连接板位于所述固定部和所述移动部背离所述柔性连接件的一侧面，所述连接板四周侧边设置有至少一个制动件，所述制动件上的运动阻止部位于所述柔性连接件的端部处，并可伸入所述间隔空间或离开所述间隔空间。

9.根据权利要求8所述的微机电结构，其特征在于，所述微机电结构包括基板，所述基板与所述连接板背离所述制动件的一侧面连接，所述固定部连接于所述连接板，所述移动部连接光学器件。

10.根据权利要求9所述的微机电结构，其特征在于，所述移动部包括固定连接区域；

所述微机电结构包括：

保护壳，连接于所述基板，所述固定部、所述移动部以及所述制动件位于所述保护壳和所述基板之间，所述保护壳形成有保护口；

垫片，设置于所述保护口并连接所述光学器件和所述固定连接区域。