[发明专利]一种微机电结构

说明书

本申请公开了一种微机电结构，微机电结构包括固定部、移动部、电致件以及制动件，移动部与固定部之间形成有间隔空间，间隔空间作为移动部的移动空间；制动件对应间隔空间设置；电致件连接制动件，为制动件通电或断电；在电致件通电时，制动件变形，至少部分伸入间隔空间；在电致件断电时，制动件形状恢复，离开间隔空间。本申请微机电结构能够避免固定部和移动部之间相对碰撞。

技术领域

本申请涉及微机电系统技术领域，特别是涉及一种微机电结构。

背景技术

现有微机电结构应用于光学设备过程中，微机电结构包括固定部和移动部，固定部和移动部运动过程中两者之间容易形成有抖动以及碰撞，从而影响微机电结构的正常使用。

发明内容

本申请提供一种微机电结构，以解决现有微机电结构中固定部和移动部运动过程中两者之间容易形成有抖动以及碰撞的问题。

为解决上述技术问题，本申请提出一种微机电结构，包括：固定部；移动部，与固定部之间形成有间隔空间，间隔空间作为移动部的移动空间；制动件，对应间隔空间设置；电致件，连接制动件，为制动件通电或断电；在电致件通电时，制动件变形，至少部分伸入间隔空间；在电致件断电时，制动件形状恢复，离开间隔空间。

其中，固定部形成有容置腔，移动部位于容置腔内，固定部和移动部之间四周围绕间隔空间。

其中，制动件呈条状设置。

其中，制动件为压电薄膜层，压电薄膜层的端部形成有运动阻止部，运动阻止部可伸入间隔空间或离开间隔空间。

其中，压电薄膜层包括第一电极层、至少一层压电材料层以及第二电极层，至少一层压电材料层位于第一电极层和第二电极层之间，运动阻止部位于第一电极层背离至少一层压电材料层的一侧端部，第一电极层和第二电极层分别与电致件连接；在至少一层压电材料层通电后，以使至少一层压电材料层变形以驱动运动阻止部运动。

其中，压电薄膜层包括压阻层，压阻层设置于第二电极层远离运动阻止部的一侧。

其中，固定部和移动部之间有柔性连接件。

其中，微机电结构包括连接板，连接板位于固定部和移动部背离柔性连接件的一侧面，连接板四周侧边设置有至少一个制动件，制动件上的运动阻止部位于柔性连接件的端部处，并可伸入间隔空间或离开间隔空间。

其中，微机电结构包括基板，基板与连接板背离制动件的一侧面连接，固定部连接于基板，移动部连接光学器件。

其中，移动部包括固定连接区域；微机电结构包括：保护壳，连接于基板，固定部、移动部以及制动件位于保护壳和基板之间，保护壳形成有保护口；垫片，设置于保护口并连接光学器件和固定连接区域。

本申请微机电结构包括固定部、移动部、电致件以及制动件，移动部与固定部之间形成有间隔空间；电致件连接制动件，为制动件通电或断电。在电致件通电时，制动件变形，至少部分伸入间隔空间，以阻止固定部和移动部之间的碰撞，从而保护微机电结构。在电致件断电时，制动件形状恢复，离开间隔空间，以保证微机电结构的正常使用。通过上述方式，能够避免固定部和移动部之间相对碰撞。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本申请微机电结构示意图；

图2是图1所示的第一局部示意图；

图3是本申请微机电结构第一状态的局部结构示意图；

图4是本申请微机电结构第二状态的局部结构示意图；