[发明专利]转移工具及转移方法

说明书

一种转移工具及转移方法，转移工具包括基板、主动加热元件阵列以及拾取件。主动加热元件阵列包括多个加热单元，这些加热单元以阵列形式排列于基板上，且每一加热单元包括驱动电路以及连接驱动电路的加热件。拾取件配置于主动加热元件阵列上，且包括拾取面。拾取面响应于多个加热件的操作而具备固有拾取力以及小于固有拾取力的调制拾取力。

技术领域

本发明涉及一种转移工具及转移方法。

背景技术

在工艺过程中，经常需要运用转移技术来将工件转移至目标位置或目标基板上。例如，在发光二极管显示装置的制造过程中，需要自来源基板巨量转移多个发光二极管至目标基板。在一些工艺中，以聚二甲基硅氧烷(PDMS)做为转移发光二极管的载板，利用载板与发光二极管之间的凡德瓦力将发光二极管转移到目标基板上。然而，此方法缺乏选择性，载板接触到的所有发光二极管都会被转移。当来源基板上有损坏的发光二极管或是不良的发光二极管，这些不符合规格的发光二极管也会被转移到目标基板，造成后续需要修补或替换目标基板上的发光二极管，大幅增加工艺的成本及时间。因此，亟需一种具备选择性的转移工具及转移方法。

发明内容

本发明提供一种转移工具及转移方法，具备选择所要转移的工件的功能，降低工艺的成本及时间。

根据本发明一实施例，提供一种转移工具，包括基板、主动加热元件阵列以及拾取件。主动加热元件阵列包括多个加热单元，这些加热单元以阵列形式排列于基板上，且每一加热单元包括驱动电路以及连接驱动电路的加热件。拾取件配置于主动加热元件阵列上，且包括拾取面。拾取面响应于多个加热件的操作而具备固有拾取力以及小于固有拾取力的调制拾取力。

根据本发明另一实施例，提供一种转移方法，包括提供转移工具，转移工具包括基板、主动加热元件阵列以及拾取件。主动加热元件阵列包括多个加热单元，这些加热单元以阵列形式排列于基板上，且每一加热单元包括驱动电路以及连接驱动电路的加热件。拾取件配置于主动加热元件阵列上，且包括拾取面。转移方法还包括使拾取面的至少一部分以固有拾取力拾取至少一工件，其中拾取面的至少一部分对应于至少一个加热单元；以及使用至少一个加热单元的驱动电路致能至少一个加热单元的加热件，使得拾取面接触至少一工件的至少一部分具有小于固有拾取力的调制拾取力。

基于上述，根据本发明一实施例提供的转移工具在主动加热元件阵列的每个加热单元中设置驱动电路。通过每个驱动电路来控制拾取件的拾取面与所要拾取及释放(转移)的工件之间的拾取力的大小，使得转移工具得以通过上述的拾取力选择是否拾取或是释放对应的工件，达到选择性拾取及释放(转移)工件的目的。根据本发明另一实施例提供的转移方法则利用上述的转移工具，选择所要拾取及释放(转移)的工件，以固有拾取力拾取此工件，再以调制拾取力释放此工件，达到选择性拾取及释放(转移)工件的目的。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合说明书附图作详细说明如下。

附图说明

图1A示出了根据本发明一实施例的转移工具的俯视图。

图1B示出了图1A所示的转移工具沿线AA’的剖面图。

图2A示出了根据本发明一实施例的加热单元的配置示意图。

图2B示出了图2A所示的加热单元的驱动电路的俯视图。

图2C示出了图2A所示的加热单元的俯视图。

图2D示出了图2C所示的加热单元沿线BB’的剖面图。

图2E示出了图2C所示的加热单元沿线CC’的剖面图。

图3A示出了根据本发明一实施例的加热单元的俯视图。

图3B示出了图3A所示的加热单元沿线DD’的剖面图。

图4A示出了根据本发明一实施例的转移工具的剖面图。