[发明专利]经由有机蒸气喷射印刷(OVJP)递送有机材料的设备和方法

权利要求书

1.一种设备，其包含：

装置，所述装置包含：

安置在微加工射流管芯上的微喷嘴阵列；

第一气体分配板和第二对向板，其中所述微加工射流管芯安置在所述第一气体分配板与所述第二对向板之间，其中所述第一气体分配板利用气密性密封不可逆地接合到所述微喷嘴阵列上，并且其中所述第一气体分配板包括多个经密封流动路径；和

可逆地接合到所述第一气体分配板上的歧管，其中所述微加工射流管芯和所述第一气体分配板和所述第二对向板安置在所述歧管之间；以及

与主动冷却源热接触的导热板，其中所述导热板具有至少一个贯穿其整个厚度的窗口，所述装置的所述第一气体分配板和所述第二对向板、所述微加工射流管芯的一部分以及所述微喷嘴阵列穿过所述窗口突出，以使所述窗口横截面的短轴为所述装置在相对于所述导热板的运动范围内提供间隙配合；

与所述第一气体分配板流体连通的一或多个热蒸发源，

其中所述歧管经由所述第一气体分配板内的多个经密封流动路径与所述微喷嘴阵列流体连通。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述微喷嘴阵列安置在所述微加工射流管芯的边缘上。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述微喷嘴阵列安置在所述微射流管芯的一面上。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述第二对向板是第二气体分配板，并且其中所述歧管利用气密性密封接合到所述第一气体分配板上。

5.根据权利要求1所述的设备，其进一步包含：

与所述微喷嘴阵列热耦合的加热器，

其中所述加热器被配置为加热所述微喷嘴阵列。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述微喷嘴阵列和衬底被配置为相对于彼此移动。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述导热板包含衬有绝缘材料的窗口。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述微喷嘴阵列和所述第一气体分配板包含所述装置的至少一部分，所述至少一部分穿过所述导热板的所述窗口突出，使得所述装置的法线平面平行于所述第一气体分配板的深度维度。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一气体分配板和所述第二对向板包括电阻加热器。

10.根据权利要求1所述的设备，其进一步包含：

可变形金属垫圈，

其中所述第一气体分配板使用所述可变形金属垫圈密封到所述歧管上。

11.一种设备，其包含：

装置，所述装置包含：

微喷嘴阵列；

利用气密性密封不可逆地接合到所述微喷嘴阵列上的第一气体分配板，其中所述第一气体分配板包括多个经密封流动路径；

与所述第一气体分配板流体连通的一或多个热蒸发源；和

歧管，其中所述第一气体分配板可逆地接合到所述歧管上，

其中所述歧管经由所述第一气体分配板内的多个经密封流动路径与所述微喷嘴阵列流体连通，

其中这些流动路径中的至少一个承载有机蒸气和惰性载气的混合物，并且

其中所述第一气体分配板具有靠近所述微喷嘴阵列的区段，所有流动路径均穿过所述区段，且所述区段的深度不比所述微喷嘴阵列在其连接点处的深度宽，以及

导热板，其中所述第一气体分配板和所述导热板与主动冷却源热接触，并且其中所述导热板具有至少一个贯穿其整个厚度的窗口，所述装置能够穿过所述窗口突出，以使所述窗口横截面的短轴至少为所述装置的至少所述微喷嘴阵列在所述装置相对于所述导热板的运动范围内提供间隙配合，使得所述导热板为所述微喷嘴阵列所作用的物体屏蔽由所述歧管和所述一或多个热蒸发源产生的热量。

12.根据权利要求11所述的设备，其进一步包含：

与所述微喷嘴阵列热耦合的加热器，

其中所述加热器被配置为加热所述微喷嘴阵列。