[发明专利]经由有机蒸气喷射印刷(OVJP)递送有机材料的设备和方法

说明书

本公开涉及经由有机蒸气喷射印刷OVJP递送有机材料的设备和方法。所公开的主题的实施例提供一种设备，所述设备具有具备安置在微加工射流管芯上的微喷嘴阵列的装置。所述装置可以包括第一气体分配板和第二对向板，其中所述微加工射流管芯安置在所述第一气体分配板与所述第二对向板之间，其中所述第一气体分配板利用气密性密封不可逆地接合到所述微喷嘴阵列上，并且其中所述第一气体分配板包括多个经密封流动路径。歧管可以可逆地接合到所述第一气体分配板上，其中所述微加工射流管芯和所述第一气体分配板和所述第二对向板安置在所述歧管之间。导热板可以具有至少一个窗口，所述窗口为所述装置在相对于所述导热板的运动范围内提供间隙配合。

相关申请的交叉引用

本申请要求2020年5月11日提交的美国专利申请序列号63,022,631的优先权，其全部内容以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及高温、低轮廓、可粘合的气体分配板和对向板，用于将喷射头联接到较大的气体递送系统，从而经由有机蒸气喷射印刷(OVJP)来递送有机材料，以及包括所述气体分配板和对向板的装置和技术。

背景技术

出于多种原因，利用有机材料的光电装置变得越来越受欢迎。用于制造这样的装置的许多材料相对便宜，因此有机光电装置具有优于无机装置的成本优势的潜力。另外，有机材料的固有性质(例如其柔性)可以使其较适用于特定应用，如在柔性衬底上的制造。有机光电装置的实例包括有机发光二极管/装置(OLED)、有机光电晶体管、有机光伏电池和有机光电检测器。对于OLED，有机材料可以具有优于常规材料的性能优势。举例来说，有机发射层发光的波长通常可以容易地用适当的掺杂剂调节。

OLED利用有机薄膜，其在电压施加于装置上时发射光。OLED正变为用于例如平板显示器、照明和背光应用中的越来越引人注目的技术。在美国专利第5,844,363号、第6,303,238号和第5,707,745号中描述了几种OLED材料和构造，所述专利以全文引用的方式并入本文中。

磷光性发射分子的一个应用是全色显示器。针对所述显示器的行业标准需要适合于发射特定色彩(称为“饱和”色彩)的像素。确切地说，这些标准需要饱和的红色、绿色以及蓝色像素。或者，OLED可经设计以发射白光。在常规液晶显示器中，使用吸收滤光器过滤来自白色背光的发射以产生红色、绿色和蓝色发射。相同技术也可以用于OLED。白色OLED可以是单EML装置或堆叠结构。可以使用所属领域中熟知的CIE坐标来测量色彩。

如本文所用，术语“有机”包括可以用于制造有机光电装置的聚合材料以及小分子有机材料。“小分子”是指不是聚合物的任何有机材料，并且“小分子”可能实际上相当大。在一些情况下，小分子可以包括重复单元。举例来说，使用长链烷基作为取代基不会将分子从“小分子”类别中去除。小分子还可以并入到聚合物中，例如作为聚合物主链上的侧基或作为主链的一部分。小分子还可以充当树枝状的核心部分，所述树枝状由一系列建立在核心部分上的化学壳组成。树枝状的核心部分可以是荧光或磷光小分子发射体。树枝状聚合物可以是“小分子”，并且据信当前在OLED领域中使用的所有树枝状聚合物都是小分子。

如本文所用，“顶部”意指离衬底最远，而“底部”意指最靠近衬底。在第一层被描述为“置于”第二层“上方”时，第一层被置于离衬底较远处。除非规定第一层与第二层“接触”，否则在第一层与第二层之间可能存在其它层。举例来说，阴极可以被描述为“置于”阳极“上方”，尽管在两者之间存在各种有机层。

如本文所用，“溶液可处理”意指能够以溶液或悬浮液的形式在液体介质中溶解、分散或输送和/或从液体介质沉积。

当据信配体直接促成发射材料的光敏性质时，配体可以称为“光敏性的”。当据信配体不有助于发射材料的光敏性质时，配体可以被称为“辅助性的”，但辅助性配体可以改变光敏性配体的性质。