[发明专利]工装、利用工装制造均热板的制造方法以及均热板在审
申请号: | 202110516550.9 | 申请日: | 2021-05-12 |
公开(公告)号: | CN113188357A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 江峰 | 申请(专利权)人: | 江西展耀微电子有限公司 |
主分类号: | F28D15/02 | 分类号: | F28D15/02;H05K7/20 |
代理公司: | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人: | 么立双 |
地址: | 330000 江西省南昌市临空经济区*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工装 利用 制造 均热 方法 以及 | ||
1.一种工装,用于制造均热板,所述均热板内部具有容纳腔,其特征在于,所述工装包括:
第一连接管,所述第一连接管与所述容纳腔连通,以对所述容纳腔抽真空;
第二连接管,所述第二连接管与所述容纳腔连通,以向所述容纳腔内注入介质;
用于控制所述第一连接管通断的第一控制阀;
用于控制所述第二连接管通断的第二控制阀。
2.根据权利要求1所述的工装,其特征在于,还包括:
注射器,所述注射器与所述第二连接管相连,所述注射器具有刻度线,所述刻度线用于计量所述注射器内的所述介质的体积。
3.根据权利要求1所述的工装,其特征在于,所述第一连接管包括相连的第一连接段和第二连接段,所述第一连接段与所述均热板相连,所述第一连接段构造出第一腔室,所述第二连接段构造出第二腔室,所述第一腔室和所述第二腔室相连通。
4.根据权利要求3所述的工装,其特征在于,所述第二连接管包括相连的第三连接段和第四连接段,所述第三连接段与所述均热板相连,所述第三连接段构造出第三腔室,所述第四连接段构造出第四腔室,所述三腔室和所述第四腔室相连通。
5.根据权利要求4所述的工装,其特征在于,所述第二连接段和所述第四连接段中的至少一个为铜管。
6.一种利用工装制造均热板的制造方法,所述工装为权利要求1-5任一项所述的工装,所述均热板具有容纳腔、第一开口和第二开口,所述第一开口和所述第二开口与所述容纳腔均连通;
所述第一连接管与所述第一开口连通,以对所述容纳腔抽真空;
所述第二连接管与所述第二开口连通,以向所述容纳腔内注入介质;
其特征在于,
所述利用工装制造均热板的制造方法包括:
关闭所述第二控制阀,打开所述第一控制阀;
通过所述第一连接管抽取所述容纳腔内的空气;
关闭所述第一控制阀,打开所述第二控制阀;
通过所述第二连接管向所述容纳腔内注入介质;
关闭所述第一控制阀;
封闭所述第一开口和所述第二开口;
所述第一开口和所述第一连接管分离,所述第二开口和所述第二连接管分离。
7.根据权利要求6所述的利用工装制造均热板的制造方法,其特征在于,在封闭所述第一开口和所述第二开口时,通过扩散焊接的方式封闭所述第一开口与所述第二开口。
8.一种均热板,其特征在于,所述均热板由根据权利要求6或7所述的利用工装制造均热板的制造方法制造而成,所述均热板具有容纳腔、第一开口和第二开口,所述第一开口和所述第二开口与所述容纳腔均连通;
所述工装的所述第一连接管与所述第一开口连通,以对所述容纳腔抽真空;
所述工装的所述第二连接管与所述第二开口连通,以向所述容纳腔内注入介质。
9.根据权利要求8所述的均热板,其特征在于,包括:壳体,所述壳体的内部具有所述容纳腔,所述第一开口位于所述壳体的一侧,所述第二开口位于所述壳体的另一侧。
10.根据权利要求8所述的均热板,其特征在于,所述第一开口位于所述均热板的一个侧表面的几何中心位置,
所述第二开口位于所述均热板的另一个侧表面的几何中心位置。
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