[发明专利]一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法

权利要求书

1.一种基板作业平台，其特征在于，包括：

用于承载基板的承载台，所述承载台具有若干个开口区，所述开口区任意组合形成用于承载至少两种规格基板的承载区；

与所述开口区对应的气流调节组件，所述气流调节组件可单独控制与其对应的开口区的气流状况；其中，所述气流调节组件用于对所述基板提供正压吹浮；

所述若干个开口区中至少有两组所述气流调节组件控制，所述承载区内的不同开口区工作具有时间差，通过不同所述气流调节组件控制不同开口区工作。

2.根据权利要求1所述的基板作业平台，其特征在于，每个所述开口区内均具有多个开口部。

3.根据权利要求2所述的基板作业平台，其特征在于，每个所述开口区的开口部形状相同。

4.根据权利要求2所述的基板作业平台，其特征在于，若干个开口区中的至少两个所述开口区的开口部形状不同。

5.根据权利要求1所述的基板作业平台，其特征在于，所述承载台具有支撑基板的第一支撑面和与所述第一支撑面相对设置的第二支撑面；

其中，所述气流调节组件包括：位于所述第一支撑面和所述第二支撑面之间的多条气路，所述多条气路中的每条气路对应同一开口区的多个开口部，且每一条气路与对应的所述开口部连通。

6.根据权利要求5所述的基板作业平台，其特征在于，所述气流调节组件还包括调节阀组，同一开口区每一组相互对应的气路和开口部中，所述调节阀组用于控制不同气路通断。

7.根据权利要求6所述的基板作业平台，其特征在于，所述气流调节组件还包括气源。

8.根据权利要求5所述的基板作业平台，其特征在于，所述开口部包括：设置在所述第一支撑面的通气槽；从所述第一支撑面贯通至所述气路的贯通孔，所述贯通孔一端与所述通气槽连通，另一端与所述气路连通。

9.根据权利要求8所述的基板作业平台，其特征在于，所述通气槽包括交叉设置的第一通气槽和第二通气槽，所述贯通孔位于所述第一通气槽和所述第二通气槽的交叉点处。

10.一种如权利要求1-9中任一项所述的基板作业平台的控制方法，其特征在于，包括：获取用于承载基板的规格，根据基板的规格确定开口区中需要工作的个数，开口区对应不同的气流调节组件，其中，所述气流调节组件用于对所述基板提供正压吹浮，并通过气流调节组件单独控制与其对应的开口区的气流状况，以选择任意开口区工作用于承载至少两种规格的基板。