[发明专利]真空兼容的平面光学元件调整装置有效
| 申请号： | 202110519753.3 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113359261B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 徐天伟;王丹;陈进新;李璟;王朋辉;杨光华;齐威 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 兼容 平面 光学 元件 调整 装置 | ||
1.一种真空兼容的平面光学元件调整装置，包括：
平面光学元件，包括相互垂直的光学面、侧面和底面；
第一调节支架，与平面光学元件连接，能够在所述光学面所在平面内移动所述平面光学元件；以及
第二调节支架，与所述第一调节支架连接，能够在所述侧面所在平面内移动所述平面光学元件；
其中，所述平面光学元件包括压钉，所述压钉与所述第一调节支架之间通过第一弹簧连接，所述第一弹簧将所述平面光学元件抵靠连接于所述第一调节支架，所述第一调节支架与所述第二调节支架之间通过第二弹簧连接，所述第二弹簧将所述第一调节支架抵靠连接于所述第二调节支架，所述第一弹簧的收缩方向所在轴线不在所述光学面所在平面内，所述第二弹簧的收缩方向所在轴线不与所述光学面所在平面平行。
2.根据权利要求1所述的真空兼容的平面光学元件调整装置，其中，所述第一调节支架包括：
两第一调节螺钉，所述两第一调节螺钉的各螺杆均抵靠于所述侧面，调节两第一调节螺钉的各螺杆在所述侧面与所述第一调节支架之间的距离，所述平面光学元件能够在所述光学面所在平面内旋转或沿所述底面与所述光学面交线在所述光学面所在平面内平移。
3.根据权利要求2所述的真空兼容的平面光学元件调整装置，其中，所述第一调节支架还包括：
第二调节螺钉，所述第二调节螺钉的螺杆抵靠于所述底面，调节第二调节螺钉的螺杆在所述底面与所述第一调节支架之间的距离，所述平面光学元件能够沿所述侧面与所述光学面交线在所述光学面所在平面内平移。
4.根据权利要求1所述的真空兼容的平面光学元件调整装置，其中，所述第二调节支架包括：
两第三调节螺钉，所述两第三调节螺钉的各螺杆均抵靠于所述第一调节支架，调节两第三调节螺钉的各螺杆在所述第一调节支架与所述第二调节支架之间的距离，所述平面光学元件能够在所述侧面所在平面内旋转或沿所述底面与所述侧面的交线在所述侧面所在平面内平移。
5.根据权利要求1所述的真空兼容的平面光学元件调整装置，其中，所述第二调节支架设置有安装孔，通过所述安装孔能够与外部连接。
6.根据权利要求1所述的真空兼容的平面光学元件调整装置，其中，所述平面光学元件、所述第一调节支架及所述第二调节支架中任一的材料为金属材料或非金属材料。
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