[发明专利]真空兼容的平面光学元件调整装置

说明书

本公开提供一种真空兼容的平面光学元件调整装置，包括：平面光学元件，包括相互垂直的光学面、侧面和底面；第一调节支架，与平面光学元件连接，能够在所述光学面所在平面内移动所述平面光学元件；第二调节支架，与所述第一调节支架连接，能够在所述侧面所在平面内移动所述平面光学元件。实现了光学元件空间直角坐标系的三个标准方向平移及绕标准方向旋转的调节；实现增加调节支架的数量，即可进一步增加光学元件的调节维度；结构通透，能够在真空环境下的使用。

技术领域

本公开涉及光学仪器技术领域，尤其涉及一种真空兼容的平面光学元件调整装置。

背景技术

平面光学元件是光学系统中经常用到的一类元件，例如将十字叉丝刻在光学平板上作为对准标记，将光栅图案刻在平板上的衍射光学元件等。对刻有图案的平面光学元件的位置进行调整是光学系统装调中的重要一环，对此类光学元件的调整，不仅需要将图案中心调整到与系统光轴重合，还需要将元件调整到光路上的理论位置，同时保证元件在理论位置处的空间姿态，例如保证元件的平板平面和光轴垂直。传统方法是将光学元件通过夹具夹持，然后将载有光学元件的夹具安装到多维调节架(或多维位移台)上，通过调节调节架或位移台，来实现对光学元件的精密调整。多维调节架需要将多个维度的调节架进行堆叠，这样会造成调节机构体积庞大，占用过多的空间，且带来成本的提高。多维位移台结构相对复杂，增加释气量，不利于真空环境下的应用。

发明内容

(一)要解决的技术问题

基于上述问题，本公开提供了一种真空兼容的平面光学元件调整装置，以缓解现有技术中光学元件位移调节结构相对复杂，及不利于真空环境应用等技术问题。

(二)技术方案

本公开提供了一种真空兼容的平面光学元件调整装置，包括：

平面光学元件，包括相互垂直的光学面、侧面和底面；

第一调节支架，与平面光学元件连接，能够在所述光学面所在平面内移动所述平面光学元件；以及

第二调节支架，与所述第一调节支架连接，能够在所述侧面所在平面内移动所述平面光学元件。

在本公开实施例中，所述平面光学元件包括压钉，所述压钉与所述第一调节支架之间通过第一弹簧连接，所述第一弹簧将所述平面光学元件抵靠连接于所述第一调节支架。

在本公开实施例中，所述第一弹簧的收缩方向所在轴线不在所述光学面所在平面内。

在本公开实施例中，所述第一调节支架包括：

两第一调节螺钉，所述两第一调节螺钉的各螺杆均抵靠于所述侧面，调节两第一调节螺钉的各螺杆在所述侧面与所述第一调节支架之间的距离，所述平面光学元件能够在所述光学面所在平面内旋转或沿所述底面与所述光学面交线在所述光学面所在平面内平移。

在本公开实施例中，所述第一调节支架还包括：

第二调节螺钉，所述第二调节螺钉的螺杆抵靠于所述底面，调节第二调节螺钉的螺杆在所述底面与所述第一调节支架之间的距离，所述平面光学元件能够沿所述侧面与所述光学面交线在所述光学面所在平面内平移。

在本公开实施例中，所述第一调节支架与所述第二调节支架之间通过第二弹簧连接，所述第二弹簧将所述第一调节支架抵靠连接于所述第二调节支架。

在本公开实施例中，所述第二弹簧的收缩方向所在轴线不与所述光学面所在平面平行。

在本公开实施例中，所述第二调节支架包括：

两第三调节螺钉，所述两第三调节螺钉的各螺杆均抵靠于所述第一调节支架，调节两第三调节螺钉的各螺杆在所述第一调节支架与所述第二调节支架之间的距离，所述平面光学元件能够在所述侧面所在平面内旋转或沿所述底面与所述侧面的交线在所述侧面所在平面内平移。