[发明专利]路径延迟的测量方法、装置、电子装置和存储介质有效
申请号: | 202110519768.X | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN112946551B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 赵阳;钟锋浩 | 申请(专利权)人: | 杭州长川科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 李洋 |
地址: | 310051 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 路径 延迟 测量方法 装置 电子 存储 介质 | ||
本申请涉及一种路径延迟的测量方法、装置、电子装置和存储介质,其中,该路径延迟的测量方法包括:获取数字测试通道的源端的波形数据,其中,数字测试通道用于对电子元件进行测试,波形数据是在数字测试通道的末端为开路的状态下得到的;根据波形数据获取波形中的斜率上升的拐点,其中,波形由波形数据确定;根据拐点对应的时间确定测试路径的延迟。通过本申请,解决了相关技术中通过数字测试机的校准系统进行测试路径校准,导致花费时间长、效率低的问题,提高了对测试路径进行校准的效率和精度。
技术领域
本申请涉及集成电路测试技术领域,特别是涉及路径延迟的测量方法、装置、电子装置和存储介质。
背景技术
在半导体芯片的生产过程中,需要通过数字测试机的数字测试系统对芯片进行测试。因此,数字测试系统需要保证较高的时间精度,该时间精度一般在200ps以下。数字测试系统具备时间参数校准系统,可以保证本身输出的时间精度达到要求,但是校准系统只能校准数字测试系统本身,无法对待测芯片所在的载板(Load Board)路径进行校准,且只能通过手动校准,导致校准花费时间长,效率低。
目前针对相关技术中通过数字测试机的校准系统进行测试路径校准,导致花费时间长、效率低的问题,尚未提出有效的解决方案。
发明内容
本申请实施例提供了一种路径延迟的测量方法、装置、电子装置和存储介质,以至少解决相关技术中通过数字测试机的校准系统进行测试路径校准,导致花费时间长、效率低的问题。
第一方面,本申请实施例提供了一种路径延迟的测量方法,包括:
获取数字测试通道的源端的波形数据,其中,所述数字测试通道用于对电子元件进行测试,所述波形数据是在所述数字测试通道的末端为开路的状态下得到的;
根据所述波形数据获取波形中的斜率上升的拐点,其中,所述波形由所述波形数据确定;
根据所述拐点对应的时间确定所述测试路径的延迟。
在其中一些实施例中,所述根据所述波形数据获取波形中的斜率上升的拐点包括:
根据所述波形数据获取所述波形的平台期;
在所述平台期对应的时间之后,获取所述波形中纵坐标开始增大时的点作为所述拐点。
在其中一些实施例中,根据所述波形数据获取所述波形的平台期包括:
对所述波形数据中的预设数量的数据进行求导,根据求导结果判断所述数据对应的波形是否为所述平台期。
在其中一些实施例中,所述在所述平台期对应的时间之后,获取所述波形中纵坐标开始增大时的点作为所述拐点包括:
获取所述平台期之后的波形数据的导数;
在所述导数在预设时间段内均大于预设阈值,且所述波形数据中的电平大于预设电平值的情况下,获取所述导数开始大于所述预设阈值时对应的点作为所述拐点。
在其中一些实施例中,所述获取数字测试通道的源端的波形数据包括:
根据预设的比较电平和比较边沿,获取相邻两次所述数字测试通道的测试系统状态的比较结果,根据所述比较结果获取跳变边沿,其中,所述测试系统状态包括通过和未通过,所述跳变边沿根据所述测试系统状态中的通过和未通过的边界确定;
在没有获取到跳变边沿的情况下,获取测试点位,并更新所述比较边沿;
在获取到所述跳变边沿的情况下,获取与所述跳变边沿对应的所有波形数据。
在其中一些实施例中,所述获取测试点位包括:
根据两个所述比较边沿,确定比较边沿范围;
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