[发明专利]射频耦合装置有效
申请号: | 202110522808.6 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN113422614B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 陈凯;赵亮;白雪 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H04B1/04 | 分类号: | H04B1/04 |
代理公司: | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人: | 孙向民;廉莉莉 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射频 耦合 装置 | ||
1.一种射频耦合装置,其特征在于,包括:主通路射频电缆、支通路射频电缆、第一绕组磁芯电感线圈、第二绕组磁芯电感线圈、第一负载匹配电路和第二负载匹配电路;
所述第一绕组磁芯电感线圈套设于所述主通路射频电缆上,所述第二绕组磁芯电感线圈套设于所述支通路射频电缆上;
所述主通路射频电缆的第一端为射频输入端,所述主通路射频电缆的第二端为射频输出端;
所述支通路射频电缆的第一端通过所述第一负载匹配电路接地,所述支通路射频电缆的第二端连通过所述第二负载匹配电路接地;
所述第一绕组磁芯电感线圈的一端引线与所述支通路射频电缆的第一端连接,所述第一绕组磁芯电感线圈的另一端引线接地;
所述第二绕组磁芯电感线圈的一端引线与所述主通路射频电缆的第二端连接,所述第二绕组磁芯电感线圈的另一端引线接地;
所述支通路射频电缆的第一端引出有第一采样输出端,所述支通路射频电缆的第二端引出有第二采样输出端,所述第一采样输出端和所述第二采样输出端均接地;
当射频电流通过所述主通路射频电缆中时:
所述第一绕组磁芯电感线圈产生第一电流信号至所述支通路射频电缆中,同时所述第二绕组磁芯电感线圈基于所述主通路射频电缆中的射频电压信号使所述支通路射频电缆产生对应于所述射频电压信号的第二电流信号;
所述第一电流信号和所述第二电流信号在所述第一负载匹配电路上产生正向叠加的电压信号,并在所述第二负载匹配电路上产生反向叠加的电压信号;
所述第一采样输出端可输出与所述正向叠加的电压信号对应的正向耦合功率,第二采样输出端可输出与所述反向叠加的电压信号对应的反向耦合功率。
2.根据权利要求1所述的射频耦合装置,其特征在于,还包括:第一带通滤波电路、第二带通滤波电路;
所述第一带通滤波电路的输入端与所述支通路射频电缆的第一端连接,所述第一带通滤波电路的输出端与所述第一采样输出端连接;
所述第二带通滤波电路的输入端与所述支通路射频电缆的第二端连接,所述第二带通滤波电路的输出端与所述第二采样输出端连接;
所述支通路射频电缆的第一端通过所述第一带通滤波电路从所述第一采样输出端输出所述正向耦合功率,所述支通路射频电缆的第二端通过所述第二带通滤波电路从所述第二采样输出端输出所述反向耦合功率。
3.根据权利要求2所述的射频耦合装置,其特征在于,还包括支撑框架,所述支撑框架上设有主电路板,所述主电路板上设有垂直于所述主电路板的金属隔离板;
所述主通路射频电缆和所述支通路射频电缆设置于所述主电路板上,且所述主通路射频电缆和所述支通路射频电缆平行设置于所述金属隔离板的两侧;
所述主电路板上设有第一让位孔和第二让位孔,所述第一绕组磁芯电感线圈、第二绕组磁芯电感线圈分别置于所述第一让位孔和所述第二让位孔内。
4.根据权利要求3所述的射频耦合装置,其特征在于,所述支撑框架为顶部和一侧开放的盒体,所述支撑框架包括底壁、第一侧壁以及相对的第二侧壁和第三侧壁;
所述第二侧壁上设有射频输入接口,所述第三侧壁上设有射频输出接口;
所述主通路射频电缆设于所述盒体内,所述射频输入接口与所述主通路射频电缆的所述射频输入端连接,所述射频输出接口与所述主通路射频电缆的所述射频输出端连接;
所述主电路板沿所述盒体开放的一侧插入所述盒体内,部分位于所述盒体内部,部分位于所述盒体的外部,所述主电路板位于所述盒体内部的部分上开设有所述第一让位孔,所述主电路板位于所述盒体外部的所部分上开设有所述第二让位孔;
所述主通路射频电缆和所述第一绕组磁芯电感线圈设置于所述主电路板位于所述盒体内部的部分上,所述支通路射频电缆和所述第二绕组磁芯电感线圈设置于所述主电路板位于所述盒体外部的部分上;
所述主电路板与所述盒体的底板平行,且所述主电路板与所述底板之间设有间隙;
所述金属隔离板的两端分别与所述第一侧壁和所述第二侧壁连接,所述金属隔离板的底部与所述主电路板焊接。
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