[发明专利]长晶炉

权利要求书

1.一种长晶炉，其特征在于，所述长晶炉包括坩埚（2），所述坩埚（2）用于承载硅液；

漏硅检测装置（1），所述漏硅检测装置（1）设置在所述坩埚（2）下方，所述漏硅检测装置（1）包括：

检测线（12），所述检测线（12）为导电金属丝，所述检测线（12）设置在所述坩埚（2）正下方投影区域，并在所述投影区域进行排布；

检测单元（13），所述检测单元（13）与所述检测线（12）的入线端（121）和出线端（122）相连接，用于检测所述检测线（12）的电性能参数值；

包覆材料层（11），所述包覆材料层（11）为耐高温绝缘疏松材料，所述包覆材料层（11）置于所述检测线（12）的上表面或所述检测线（12）的上表面和下表面；所述包覆材料层（11）的软化点大于1500℃，电阻率大于10⁶Ω.cm，孔径为2-100μm，厚度为0.01mm-1mm。

2.如权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述包覆材料层为石英纤维布。

3.如权利要求2所述的长晶炉，其特征在于，所述石英纤维布中二氧化硅的纯度为99.95%，所述石英纤维布的孔径为2-10μm，和所述石英纤维布的厚度小于10mm。

4.如权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述包覆材料层（11）为单层或多层。

5.如权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述包覆材料层（11）的边缘区域高于所述包覆材料层（11）的中心区域。

6.如权利要求5所述的长晶炉，其特征在于，所述包覆材料层的所述边缘区域20-100mm的区域高于所述包覆材料层的中心区域。

7.如权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述检测线（12）在排布过程中相邻线段之间的距离为d，d值在1-50mm之间。

8.如权利要求7所述的长晶炉，其特征在于，所述检测线（12）的排布方式为均匀排布，所述检测线（12）相邻线段之间的距离d值恒定。

9.如权利要求8所述的长晶炉，其特征在于，所述检测线（12）的排布方式为直线型回路排布，曲线型回路排布或圆形回路分布。

10.如权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述长晶炉还包括控制系统（4），所述控制系统（4）与所述漏硅检测装置（1）中的所述检测单元（13）相连，用于获取所述检测线（12）的电性能参数值。

11.如权利要求10所述的长晶炉，其特征在于，所述控制系统（4）中还包括电性能参数阈值判断模块（3），用来判断所述检测线（12）的电性能参数值是否超过阈值。

12.如权利要求11所述的长晶炉，其特征在于，所述长晶炉还包括报警系统（5），所述报警系统（5）与所述控制系统（4）相连，在所述控制系统（4）发出报警信号后，进行报警处理。