[发明专利]一种真空鼓总成有效
申请号: | 202110524721.2 | 申请日: | 2021-05-14 |
公开(公告)号: | CN112967960B | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 张德龙;孙斌;周亚棚;张喜华 | 申请(专利权)人: | 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H02K7/14 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明;郭婷 |
地址: | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 总成 | ||
1.一种真空鼓总成,其特征在于,包括:真空鼓、密封装置;所述密封装置对所述真空鼓的非工作区域进行间隙密封;
所述密封装置包括密封板;所述密封板的上表面形状与所述真空鼓的非工作区域形状相适配,且所述密封板设置在所述真空鼓的非工作区域的下方,与所述真空鼓间存在间隙;
所述密封装置还包括调节装置;所述调节装置包括压缩弹簧、弹簧固定座、弹簧调节螺母、密封板连接座;
所述弹簧固定座置于所述密封板的下方,与基座固定连接,所述弹簧固定座的上表面具有螺柱结构,所述弹簧调节螺母的内螺纹与所述螺柱结构的外螺纹相适配,并与所述螺柱结构通过螺纹连接;
所述密封板连接座的上表面与所述密封板的下表面固定连接,所述密封板连接座的下表面具有与所述压缩弹簧形状相适配的凸起,所述压缩弹簧置于所述密封板连接座与所述弹簧调节螺母之间,其两端分别套设在所述凸起和所述螺柱结构的外壁。
2.如权利要求1所述的真空鼓总成,其特征在于,所述密封板的上表面设有用于限位的凸起结构,所述凸起结构设置在所述真空鼓两侧的下方,所述凸起结构围成的凹槽结构与所述真空鼓的非工作区域形成间隙。
3.如权利要求1所述的真空鼓总成,其特征在于,还包括驱动电机、真空管、真空管接头;所述驱动电机的输出端与所述真空鼓固定连接,驱动所述真空鼓进行旋转;所述真空管的一端通入所述真空鼓的内部区域,与所述真空鼓的内壁固定连接,所述真空管远离所述真空鼓的一端与所述真空管接头可旋转连接,所述真空管接头远离所述真空管的一端连接真空提供装置。
4.如权利要求3所述的真空鼓总成,其特征在于,还包括第一固定座、第二固定座;所述第一固定座与所述第二固定座均与所述真空鼓的形状相适配,同轴且有间隙地分别设置在所述真空鼓的两侧,所述第二固定座为中空结构,所述驱动电机固定在所述第二固定座的中空结构内。
5.如权利要求4所述真空鼓总成,其特征在于,还包括真空管接头固定板;所述真空管接头固定板套设在所述真空管接头一端的外壁,进行套设的一端为所述真空管接头连接所述真空管的一端,防止所述真空管接头随所述真空管进行旋转。
6.如权利要求5所述的真空鼓总成,其特征在于,所述密封板、所述第一固定座、所述第二固定座均与所述基座固定连接。
7.如权利要求6所述的真空鼓总成,其特征在于,还包括调节装置限位装置;所述调节装置限位装置包括第一限位装置、第二限位装置;所述第一限位装置和所述第二限位装置均为“L”形结构,分别具有固定座连接端和连接座连接端;所述第一限位装置的固定座连接端与所述第一固定座固定连接,所述第一限位装置的连接座连接端与所述密封板连接座靠近所述第一固定座的侧面固定连接,所述第二限位装置的固定座连接端与所述第二固定座固定连接,所述第二限位装置的连接座连接端与所述密封板连接座靠近所述第二固定座的侧面固定连接,限制所述密封板连接座的水平方向运动。
8.如权利要求6所述的真空鼓总成,其特征在于,还包括位于所述真空鼓两侧对柔性载体起到导向作用的导轮;所述导轮的圆柱面上设有用于对所述柔性载体进行限位的限位块结构,所述导轮的两端与所述基座固定连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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