[发明专利]能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置

权利要求书

1.一种能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，通过精密控制探针块来检测受检对象基板的图案是否不合格，其特征在于，包括：

底部，包括桁架；

基板放置部，配置在上述底部的上部，用于在上表面放置受检对象并移动基板；以及

探针龙门架，配置在上述基板放置部的一侧，通过与借助上述基板放置部进行移动的受检对象基板的至少一部分相接触，来测定上述基板的电特性。

2.根据权利要求1所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述探针龙门架包括：

接触台部，设置有一个以上的探针块，上述探针块具有能够与受检对象基板相接触的探针销，能够基于受检对象基板的位置调节位置；以及

第一校准摄像头，配置在上述接触台部的一侧，为了进行上述探针块与受检对象基板之间的位置对准而识别受检对象基板上的对准标记。

3.根据权利要求2所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述第一校准摄像头能够沿着第一方向移动。

4.根据权利要求1所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述探针龙门架还包括：

第二校准摄像头，用于拍摄上述探针销与上述受检对象基板的接触衬垫之间是否实现位置对准；以及

探针块控制器，基于从上述第二校准摄像头获得的拍摄信息单独移动上述探针块来进行对准。

5.根据权利要求4所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述第二校准摄像头还包括第二校准摄像头控制器，上述第二校准摄像头控制器配置在上述桁架的一侧，能够以沿着第一方向及第三方向进行移动的方式对上述第二校准摄像头进行移动操作，以便为了精密测定受检对象基板与上述探针块的探针销之间的位移是否相同而进行超近距离拍摄。

6.根据权利要求4所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，

上述第二校准摄像头还包括块控制运算部，上述块控制运算部通过第一方向位移运算部及第二方向位移运算部的运算来判断受检对象与探针块之间的位移是否相同，

上述第一方向位移运算部通过比较受检对象与探针块的第一方向位移来判断是否需要改变探针块的第一方向位移，

上述第二方向位移运算部通过比较受检对象与探针块的第二方向位移来判断是否需要改变探针块的第二方向位移。

7.根据权利要求4所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述探针块控制器还包括：

探针块支架部，能够实现上述探针块的单位级抓取；

第一方向位移控制器，能够实现探针块的第一方向位移微移操作；

第二方向位移控制器，能够实现探针块的第二方向位移微移操作；以及

第三方向位移控制器，能够实现探针块的第三方向位移微移操作。

8.根据权利要求4所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述第二校准摄像头为能够通过沿着第一方向连续移动来获得线性图像的线扫描摄像头。

9.根据权利要求1所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，还包括探针块缓冲部，配置在上述探针龙门架的后方一侧，能够装载一个以上的上述探针块。

10.根据权利要求9所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，还包括探针块移送部，配置在上述探针龙门架与上述探针块缓冲部之间的一侧，用于向上述接触台部移送上述探针块或从上述接触台部回收上述探针块。