[发明专利]能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置

说明书

本发明的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置通过探针块的单个控制来检测受检对象基板的图案是否不合格，可包括：底部，包括桁架；基板放置部，配置在底部的上部，用于在上表面放置受检对象并移动基板；以及探针龙门架，配置在基板放置部的一侧，通过与借助上述基板放置部进行移动的受检对象基板的至少一部分相接触，来测定基板的电特性。

技术领域

本发明涉及能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，更详细地，涉及如下的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，即，在通过第一校准摄像头确认受检对象的校准标记来调节位置后，通过第二校准摄像头判断受检对象与探针销的位移是否相同，从而可单独改变探针块的第一方向的位移、第二方向的位移以及第三方向的位移。

背景技术

在这一部分中所记述的内容仅提供有关本发明的背景信息，并不构成现有技术。

作为显示器产品制造的最终工序，检测工序以往以如下方式进行，即，在使探针块的探针销物理接触显示器的电路图案后，通过向测试器施加电信号来测定及检测受检对象显示器的电路图案，从而输出测定数据。

由于作为受检对象的显示器的电路图案的位置根据型号各不相同，因而现有的阵列测试装置需与之相对应地更换探针块和探针销，以便进行测定及检测。

但即使像这样以与显示器的型号相对应的方式更换所装载的探针块及探针销，若不属于专属探针型号，则会在显示器的电路图案与探针块之间产生微小偏差。

因此，现有的阵列测试装置必须具备单个探针块位置调节功能，即，通过使玻璃放置台及探针块移动来对准作为受检对象的玻璃的各个电路图案，虽然已开发的与之相关的调节方式有很多，但存在很难准确实现探针块及探针销的位移的问题。

另一方面，还一直有如下的问题，即，在作为受检对象的玻璃的电路图案与探针块之间产生微小偏差的状况下，很难精确测定及检测显示器的电路图案，玻璃电路图案的测定所产生的测试精确度必然下降，不仅如此，无法获得具有准确性和可靠性的数据。

为了解决如上所述的现有的阵列测试装置的问题，虽然韩国及海外的一些相关公司对能够微调探针销的阵列测试装置进行了研究，但是，在实际产品化的层面上，因设置探针块的X轴移动驱动部、Y移动驱动部、Z轴移动驱动部及控制部结构所需的成本过高，或者，与现有的阵列测试装置相比，相应装置的制造成本所能带来的效果并不大，因此市场竞争力低，因而无法找到真正实现商业化的事例。

因此，需要开发能够解决如上所述的现有技术的技术问题的装置。

发明内容

技术问题

本发明用于改善所提及的上述现有技术的缺点，本发明的目的如下。

第一，本发明提供如下的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，即，能够以可与按型号各不相同的受检对象的电路相对应的方式装载多种探针块。

第二，本发明提供如下的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，即，可通过第一校准摄像头及第二校准摄像头实现双重测定来精密测量受检对象电路与探针销之间的位置。

第三，本发明提供如下的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，即，通过第二校准摄像头确认受检对象的电路与探针销的偏差程度，在探针销与受检对象之间产生偏差的情况下，可微调探针块在第一方向轴、第二方向轴及第三方向轴上的位置。

本发明的技术问题并不局限于以上所提及的技术问题，本发明所属技术领域的普通技术人员可通过以下记载明确理解未提及的其他技术问题。

技术方案