[发明专利]双精调线高温薄膜铂电阻及其调阻方法在审
申请号: | 202110533194.1 | 申请日: | 2021-05-17 |
公开(公告)号: | CN113284688A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 户家周;褚家宝;杨元才 | 申请(专利权)人: | 上海福宜纳米薄膜技术有限公司 |
主分类号: | H01C7/00 | 分类号: | H01C7/00;H01C17/242 |
代理公司: | 上海裕创慧成知识产权代理事务所(普通合伙) 31384 | 代理人: | 黄裕 |
地址: | 201821 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双精调线 高温 薄膜 铂电阻 及其 方法 | ||
本发明涉及一种双精调线高温薄膜铂电阻及其调阻方法,在背板上的一侧刻蚀短精调线,在短精调线的垂直对应侧刻蚀长精调线,长精调线和短精调线的长度范围由所确定的目标电阻确定,在背板上的一侧刻蚀正导点,在正导点的垂直对应侧刻蚀负导点,正导点和负导点用于电阻连接外电路,在背板上的另一侧刻蚀滤波区,在滤波区的一侧刻蚀第一电阻区,在滤波区的另一侧刻蚀第二电阻区,通过添加第二条精调线,利用第二次精调,激光切割的短程性,在弥补第一次精调偏差阻值同时,大大减少了激光产生的热量,有效提高调阻的精确性,减小了现有技术中调阻时激光产生的干扰的问题。
技术领域
本发明的实施例涉及一种高温薄膜铂电阻,特别涉及一种双精调线高温薄膜铂电阻及其调阻方法。
背景技术
目前,公知的温度传感器中,热敏电阻都是多个定值调阻点和一条精确调阻线构成,激光调阻是通过切断定值点粗调,然后激光连续切割精调线,一直到与标准电阻阻值一致则会停止的方式,得到我们想要的电阻,由于激光切割会产生热量,尤其最后对精调线的连续切割,会导致所调电阻的实际温度偏高,且距离越长,温度偏差越大,等热量散去,精调电阻和标准电阻温度一致时,精调电阻的阻值会出现不同程度的变小,再次切割精调线,由于切割路程没变,产生的热量也没变,就会导致因热量产生的偏差值不变或变化极小,另外由于膜厚均匀性无法做到完全一样,使得每个电阻调阻点阻值都有所偏差,导致精调的连续切割距离也不同,无法通过在目标电阻后加补偿值的方式得到精密电阻。
发明内容
本发明的实施方式的目的在于提供一种双精调线高温薄膜铂电阻及其调阻方法,通过添加第二条精调线,能够利用第二次精调,激光切割的短程性,在弥补第一次精调偏差阻值同时,大大减少了激光产生的热量,有效提高调阻的精确性,减小了调阻时激光产生的干扰的问题,达到精确调阻的目的。
为了实现上述目的,本发明的实施方式设计了一种双精调线高温薄膜铂电阻,其特征在于,包括:
背板;
短精调线,在所述背板上的一侧刻蚀所述短精调线;
长精调线,在所述短精调线的垂直对应侧刻蚀所述长精调线,所述长精调线和所述短精调线的长度范围由所确定的目标电阻确定;
进一步的,所述的双精调线高温薄膜铂电阻,其特征在于,还包括:
正导点,在所述背板上的一侧刻蚀所述正导点;
负导点,在所述正导点的垂直对应侧刻蚀所述负导点;
滤波区,在所述背板上的另一侧刻蚀所述滤波区;
第一电阻区,在所述滤波区的一侧刻蚀所述第一电阻区;
第二电阻区,在所述滤波区的另一侧刻蚀所述第二电阻区。
进一步的,所述双精调线高温薄膜铂电阻的电阻电路都刻蚀在所述背板上。
进一步的,所述正导点、所述负导电、所述短精调线、所述长精调线、所述滤波区、所述第一电阻区和所述第二电阻区之间分别刻蚀连接导线连接。
本发明的实施方式同现有技术相比,通过添加第二条精调线,利用第二次精调,激光切割的短程性,在弥补第一次精调偏差阻值同时,大大减少了激光产生的热量,有效提高调阻的精确性,减小了现有技术中调阻时激光产生的干扰的问题,在不改变其他结构和调阻程序的情况,仅仅添加一条短的精调线,就能极大调高调阻精度,对调阻机的要求也大大降低,国产激光调阻设备亦可满足。
本发明的实施方式还设计了一种双精调线高温薄膜铂电阻的调阻方法,其特征在于,步骤包括:
S10步骤:对标椎电阻进行测试得到其室温阻值R0,并记录下室温阻值R0,进入S20步骤;
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