[发明专利]一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器

权利要求书

1.一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器，包括钢丝绳（1），其特征在于：所述钢丝绳（1）的下端固定安装有固定架（2），所述重锤（3）的下部分固定套装有重锤（3），所述重锤（3）分为内重锤（4）与外重锤（5），所述内重锤（4）在外重锤（5）的上部分轴承套装，轴承与内重锤（4）固定安装，与外重锤（5）活动配合安装，所述内重锤（4）的内部开设有滑孔（6），所述外重锤（5）的内部开设有阶梯孔（7），所述滑孔（6）与阶梯孔（7）同轴配合，所述重锤（3）中部放置有籽晶（8），所述内重锤（4）的外表面且与外重锤（5）配合处固定安装有气囊（9），所述滑孔（6）的上部分固定套装有锁紧架（10），所述锁紧架（10）的上表面固定安装有出气阀（11），所述固定架（2）的底面与出气阀（11）配合，所述锁紧架（10）的内腔活动套装有滑套（12），所述滑套（12）的端面固定安装有单向阀一（13），所述滑套（12）的内腔固定安装有弹簧（14），所述弹簧（14）的一侧固定安装有锁紧板（15），所述锁紧板（15）与籽晶（8）配合，所述锁紧板（15）的一端固定安装有单向阀二（16）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器，其特征在于：所述阶梯孔（7）的底端为上大下小的锥状结构，所述籽晶（8）的底端为锥状结构与阶梯孔（7）的底部配合，所述外重锤（5）的底部开设有安装槽（17），所述安装槽（17）内部固定安装有电阻加热器（18），所述电阻加热器（18）与籽晶（8）的锥状部位上方配合。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器，其特征在于：所述阶梯孔（7）的上部分为上小下大的锥状结构。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器，其特征在于：所述籽晶（8）为工字型，顶部直径大于下部分直径大于中间直径，且中间直径与阶梯孔（7）的底部锥状小直径配合，所述阶梯孔（7）上部分的直径大于阶梯孔（7）上部分的阶梯直径。