[发明专利]一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器

说明书

本发明涉及硅制造设备技术领域，且公开了一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器，包括钢丝绳。该单晶硅生长炉用籽晶夹持器，通过将重锤分为内重锤与外重锤两部分，籽晶与滑孔、阶梯孔配合，籽晶的底部与阶梯孔的下端配合，在钢丝绳带动旋转时，内重锤与外重锤的转速不同，被外重锤支撑的籽晶，在外重锤的带动下旋转，当籽晶的同轴度与外重锤不配合时，籽晶的上端旋转晃动幅度大，即籽晶的上端在旋转过程中，可以推动锁紧板移动，并在弹簧作用下回位，锁紧板的移动能够将空气通过单向阀一压到滑套外端，推动滑套移动，使得气压不断增加，锁紧板对籽晶的旋转不断限位，直至将籽晶上部分夹紧，当温度传导过来后，夹紧力更大。

技术领域

本发明涉及硅制造设备技术领域，具体为一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器。

背景技术

单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备，主要由主机，加热电源和计算机控制系统组成，是将多晶硅转化为单晶硅的主要设备。

单晶炉是在惰性气体环境中，采用石墨电阻加热器，将硅材料熔化，然后对熔化后的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在夹持器上的籽晶插入溶体，待籽晶和熔体熔合后，慢慢旋转向上拉籽晶，晶体会在籽晶的下端生长，首先引晶，生长细颈，消除位错，再放肩，放大晶体直径到需要的长度，然后转肩，使肩部近似直角，然后等径拉升，一定直径规格大小的单晶柱体。

在单晶炉工作时，首先需要将籽晶固定在夹持器上，每拉一个单晶柱体就需要更换籽晶，由于籽晶的尺寸规格并不是完全一样的，在夹持的过程中，籽晶与夹持器的同轴度无法控制，这就导致在引颈过程中需要更长的引颈长度，去消除同轴度不一致带来的位错；同时籽晶在插入溶体时，籽晶和溶体具有较大的温度差，在接触时高温溶液对籽晶强烈热冲击，造成位错，导致引颈过长，如果具有位错，拉出的单晶柱体是扭曲的。

发明内容

本发明提供了一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器，具备夹持的籽晶与夹持器的同轴度高，籽晶与溶体接触时不会产生位错的优点，解决了籽晶夹持同轴度低，拉出的单晶柱体是扭曲的，籽晶和溶体接触产生位错的问题。

本发明提供如下技术方案：一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器，包括钢丝绳，所述钢丝绳的下端固定安装有固定架，所述重锤的下部分固定套装有重锤，所述重锤分为内重锤与外重锤，所述内重锤在外重锤的上部分轴承套装，轴承与内重锤固定安装，与外重锤活动配合安装，所述内重锤的内部开设有滑孔，所述外重锤的内部开设有阶梯孔，所述滑孔与阶梯孔同轴配合，所述重锤中部放置有籽晶，所述内重锤的外表面且与外重锤配合处固定安装有气囊，所述滑孔的上部分固定套装有锁紧架，所述锁紧架的上表面固定安装有出气阀，所述固定架的底面与出气阀配合，所述锁紧架的内腔活动套装有滑套，所述滑套的端面固定安装有单向阀一，所述滑套的内腔固定安装有弹簧，所述弹簧的一侧固定安装有锁紧板，所述锁紧板与籽晶配合，所述锁紧板的一端固定安装有单向阀二。

作为优选，所述阶梯孔的底端为上大下小的锥状结构，所述籽晶的底端为锥状结构与阶梯孔的底部配合，所述外重锤的底部开设有安装槽，所述安装槽内部固定安装有电阻加热器，所述电阻加热器与籽晶的锥状部位上方配合。

作为优选，所述阶梯孔的上部分为上小下大的锥状结构。

作为优选，所述籽晶为工字型，顶部直径大于下部分直径大于中间直径，且中间直径与阶梯孔的底部锥状小直径配合，所述阶梯孔上部分的直径大于阶梯孔上部分的阶梯直径。

本发明具备以下有益效果：